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非對稱結構差動E+E位移傳感器參數化仿真與優化
以非對稱結構差動E+E位移傳感器為研究對象，在電磁分析軟件AnsoftMaxwell2D環境下，對其進行了建模及電磁性能仿真分析。在軟件腳本錄制功能的基礎上，提出了一種基于VB Script的差動E+E位移傳感器參數化建模方法。

非對稱結構差動E+E位移傳感器參數化仿真與優化
隨著科學技術的迅猛發展,非物理量的測試與控制技術,已越來越廣泛地應用于各技術領域。首先在Ansoft Maxwell中錄制建模及電磁仿真的全過程，保存為腳本文件，對該腳本文件中的模型設計參數進行標記；然后把這些標記過的參數動態修改為設計者輸入的參數值，形成Ansoft Maxwell可識別運行的腳本文件；zui后在Ansoft Maxwell軟件中運行修改好的腳本文件，即可完成模型的參數化建模及電磁仿真。針對差動傳感器通常尺寸很小,而斷層尺寸相對較大,導致差動傳感器在待測斷層處安裝不便的情況,提出了一種可用于斷層測量的增量式時柵外腔型移傳感器。兩根陶瓷插芯從陶瓷套管的兩端插入構成EFPI結構,通過使用金屬內管和金屬外管,增大了差動E+E位移傳感器的尺寸;并且金屬外管的兩端采用O型圈密封,因此該EFPIE+E位移傳感器能夠防水防塵。以三角測量法為測量原理,采用半導體增量式時柵器作為光源,搭建了基于四象限探測器和基于線陣CCD探測器的兩套測量系統,對測量系統中各個部件的選取做了詳細分析,并從理論和實驗上分析了引起系統測量誤差的各種因素以及消除或者減弱這些影響因素的方法。主要工作如下：設計了基于四象限的增量式時柵E+E位移傳感器,并對該傳感器進行了調試和標定。達到了預期的線性范圍。為了消除溫度對EFPIE+E位移傳感器的影響,兩根金屬內管采用了不同熱膨脹系數的材料在結構上進行溫度補償。在溫度連續變化的環境下,對腔長為718.39 m的EFPIE+E位移傳感器進行了測量。測量結果顯示,經過溫度補償設計后,E+E位移傳感器的溫度系數由0.14μm/℃下降到了-0.04μm/℃,并呈現過補償。

非對稱結構差動E+E位移傳感器參數化仿真與優化
該方法將差動E+E位移傳感器的結構設計和電磁性能仿真有效地結合起來，縮短了仿真周期，提高了新產品的開發效率。同時大大減少了設計者的勞動量，為今后各類傳感器的參數化設計提供了幫助。