KOSAKA LAB ET 200A微細形狀測定機（探針接觸式臺階儀）株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創立的公司，也是日本發表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。設備特點：KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。l 電腦架、防震桌為選配件l 可選擇獨立 8"螢幕顯示探針下針位置，也可集成于電腦螢幕中呈現 ˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉ規格一、樣品臺：1. 樣品臺尺寸：φ160mm2. 最大工件尺寸：φ200mm3. 最大工件厚度：52mm4. 最大工件重量：2kg5. 傾斜調整范圍：±2°(±5mm/160mm)6. 樣品臺材質：黑色硬質鋁7. 手動旋轉：360°(手動粗調)、±5°(微調，最小約0.5°)二、傳感器（pick up）：1. 原理：直動式傳感器 （業界）2. Z方向測定范圍：Max. 600µm3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)4. 測定力： 10uN ~500uN5. 觸針半徑：2 µm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）6. 驅動方式：直動式7. 再現性：1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)三、X 軸 (基準軸/測量軸)：1. 移動量(最大測長)：100mm (±50mm)2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1µm5. 位置重復誤差：±5um四、Z軸：1. 移動量：54mm2. 移動速度：max.2.0mm/S3. 檢出器自動停止機能六、Y軸：（手動定位用）1. 移動量：25mm（±12.5mm）七、工件觀察：1. 彩色1/3"CCD，x4物鏡倍率2. 綜合倍率：約320倍 (使用19" monitor時)3. 視野：1.2*0.9mm4. 觀察方向：右側斜視5. 照明：白色LED（可使用軟件調整明暗度）八、軟件功能簡介：1. 型號：i-STAR312. 可設定測量條件菜單、重復測量設定、解析菜單3. 可設定下針座標，實現定位后自動測量及解析功能4. 可設定低通濾波，過濾噪音及雜訊5. 具有返回測量啟始點功能6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內應力分析、內建多種段差解析菜單可選九、床臺：一體花崗巖十、防振臺(選購)：落地型或桌上型十一、電源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA十二、本體外觀尺寸及重量：W500×D440×H610mm, 120kg，一體花崗巖低重心結構(不含防震臺