河南三特爐業科技有限公司 |
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1200℃-PECVD管式爐系統
參考價 | 面議 |
- 型號 STGC-60-12
- 品牌 三特爐業
- 廠商性質 生產商
- 所在地 洛陽市
更新時間:2023-11-16 14:30:53瀏覽次數:770
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產地類別 | 國產 | 加熱方式 | 電阻式 |
---|---|---|---|
價格區間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
升溫速度(達到最高溫) | 90/min | 儀器種類 | 管式爐 |
應用領域 | 綜合 | 最高溫度 | 1200℃ |
【爐管尺寸】φ40--φ100mm
【加熱區】300mm/440mm
【額定溫度】1200℃
【控溫精度】±1℃
【應用領域】PECVD系統(等離子增強化學氣相沉積系統)由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成。
商品描述
【產品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統
【爐管尺寸】φ40--φ100mm
【加熱區】300mm/440mm
【額定溫度】1200℃
【控溫精度】±1℃
【應用領域】1200℃-PECVD管式爐系統(等離子增強化學氣相沉積系統)由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成, 本設備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內形成等離子體,利用等離子的強化學活性,改善反應條件,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術,最終得到基片上沉積出所期望的薄膜。
性能特點:
CVD管式爐系統由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源
管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區的長度,爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭;
真空獲得系統可根據試驗要求選擇不同的真空泵,旋片式機械真空泵真空度≤5pa,分子泵真空機組真空度1×10-4pa;
氣路供氣系統可選擇3路浮子手動和3路自動質量流量系統
真空測量為數字復合真空機或皮拉尼真空計
等離子體放電選擇13.56Mhz的設備電源,功率輸出可選擇200W、300W和500W
管式爐可選擇單溫區300mm和440mm,也可選擇三溫區或多溫區進行溫度的梯度試驗
溫控器內置的RS485數字通信端口和USB適配器作為可選配置,可連接PC,用于系統的遠程控制和監視,還可以保存或導出測試結果。
產品符合歐盟CE標準。
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