CVD-銅基硅基單層/少層/多層氮化硼BN薄膜
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CVD-少層氮化硼BN薄膜
硅基單層氮化硼BN薄膜
CVD-多層氮化硼BN薄膜
CVD銅基多層氮化硼薄膜
CVD-銅基硅基單層/少層/多層氮化硼BN薄膜
在50um厚銅箔上生長了多層氮化硼薄膜。h-B N是一種直接能隙為6ev的體,B-N原子間具有強的離子鍵。我們采用h-BN化學氣相沉積工藝,使缺陷密度保持在較低水平(~1E10-1e11cm-2),并增加單疇尺寸以降低1D晶粒缺陷濃度。多層h-BN板尺寸約為5cm x 5cm或約2x2英寸。
h-BN的性質
在50um厚銅箔上生長了多層氮化硼薄膜。h-B N是一種直接能隙為6ev的體,B-N原子間具有強的離子鍵。我們采用h-BN化學氣相沉積工藝,使缺陷密度保持在較低水平(~1E10-1e11cm-2),并增加單疇尺寸以降低1D晶粒缺陷濃度。多層h-BN板尺寸約為5cm x 5cm或約2x2英寸。
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溫馨提醒:用于科研哦(zhn2020.05.14)