上海壹僑國際貿易有限公司
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更新時間:2024-06-02 09:15:32瀏覽次數:1096
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上海壹僑優勢供應德國英福康INFICON殘余氣體分析儀、INFICON粒子檢測器、INFICON薄膜沉積控制器、INFICON監控器、INFICON檢漏儀、INFICON真空計、INFICON配件、INFICON射頻傳感器。
Protec P3000 Helium Leak Detector, 115 V 520-002
Protec P3000 Helium Leak Detector, 230 V 520-001
Protec P3000XL Helium L Detector, 115 V 520-004
Protec P3000XL Helium L Detector, 230 V 520-003
Adapter for custom SL P3000 / E3000 525-005
Adapter for custom SL Protec P3000XL 521-015
cable 5 m, fits to 551-100 551-102
Connecting cable ext. display unit, 0.7m 551-103
Cover test leak opening P3000/E3000 525-007
Display unit, rack mounting 551-101
Display unit, table top 551-100
Holder for SL3000 525-006
Oil / Water Protection Tip for SL3000XL 521-016
SL3000-10, 10m length 525-003
SL3000-15 for Ecotec E3000, 15m length 525-004
SL3000-3, 3m lengths 525-001
SL3000-5, 5m length 525-002
SL3000XL-10, 10m lengths 521-013
SL3000XL-15, 15m lengths 521-014
SL3000XL-3, 3m lengths 521-011
SL3000XL-5, 5m lengths 521-012
Sniffer probe FT 312 12214
Sniffer probe FT250XL, 250 mm, flexible 521-022
Sniffer probe FT385 12216
Sniffer probe ST200 12218
Sniffer probe ST385 12215
Sniffer tip FT250 12266
Sniffer tip FT312XL, 120 mm, flexible 521-019
Sniffer tip FT385XL, 385 mm, flexible 521-021
Sniffer tip FT600 12209
Sniffer Tip ST 312 12213
Sniffer tip ST312XL, 120 mm, rigid 521-018
Sniffer tip ST385XL, 385 mm, rigid 521-020
Water protection tip for Protec / Ecotec 12246
05Filter pads (25 pcs.) for SL3000XL 521-023
Helium sniffer leak standard S-TL4 12237
Helium sniffer leak standard S-TL5 12238
Helium sniffer leak standard S-TL6 12239
PRO-CHECK reference leak, Helium 521-001
Spare Filter for Oil/Water Protection Ti 521-017
Spare Helium gas cartridge for PRO-Check 521-010
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
折疊波爾登規(Bourdon)
波爾登規
波爾登規
如右圖所示,細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。
這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。
折疊薄膜電容規
薄膜電容規
薄膜電容規
如右圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,使用前一般需要預熱數小時。
折疊皮拉尼電阻規
皮拉尼電阻規
皮拉尼電阻規
也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。
如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準確度。
這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。
折疊熱電偶規
熱電偶規
熱電偶規
如右圖所示,熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理*,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
折疊熱陰極電離規
熱陰極電離規
熱陰極電離規
如右圖所示,熱陰極電離規中,由熱陰極即燈絲發射電子,電離真空中的氣體分子,產生離子,由收集極收集產生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。
這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經改進后的熱陰極電離規,Bayard-Alpert規,可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
折疊冷陰極電離規
冷陰極電離規
冷陰極電離規
如右圖所示,冷陰極電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。
這種規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰極電離規同樣的原因,這種規在使用時需要在不同氣體下標定。
折疊編輯本段量程范圍
在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等[1] 。
在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
表2 真空計的適用壓力范圍
德國英福康INFICON PCG410511-010德國英福康INFICON PCG410511-010