探針式表面輪廓儀介紹：

布魯克 DektakXT 臺階儀是一項創新性的設計，可以提供更高的重復性和分辨率，測量重復性可以達到5?。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術創新的，更加鞏固了其行業地位。不論應用于研發還是產品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT一定能夠做到功能更強大，操作更簡易，檢測過程和數據采集更完善。第十代DektakXT臺階儀的技術突破，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。

探針系統的評價體系受三個因素影響：能否重復測量，數據采集和分析速度快慢，操作的難易程度。這些因素直接影響了數據的質量和操作效率。DektakXT利用全新結構和和軟件來實現可重復、時間短、易操作這三個必要因素，達到的儀器使用效果。

強化操作的可重復性 Delivering Repeatable Measurements，DektakXT在設計上的幾個提高，使其在測量臺階高度重復性方面具有優異的表現，臺階高度重復性可以到達5?.使用single-arch結構比原先的懸臂梁設計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時，Bruker還對儀器的智能化電子器件進行完善，提高其穩定性，降低溫度變化對它的影響，并采用先進的數據處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會把可能引起誤差的噪音降到，DektakXT的系統因此可以更穩定可靠的實現對高度小于10nm的臺階的掃描。Single-arch結構和智能器件的聯用，大大降低了掃描臺的噪音，增強了穩定性，使其成為一個競爭力的臺階儀（表面輪廓儀）。

提高數據采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis，利用*的直接掃描平臺，DektakXT通過減少從得到原始數據到扣除背底噪音所需要的時間，來提高掃描效率。這一改進，大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對于表面應力長程掃描的掃描速度。在保證質量和重復性的前提下，可以將數據采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit數據采集分析同步操作系統Vision64，它可以提高大范圍3D形貌圖的高數據量處理速度，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時的數據分析處理效率。Vision64還具有效直觀的用戶界面，簡化了實驗操作設置，可以自動完成多掃描模式，使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔。

完善的操作和分析系統 PerfectingOperationand Analysis與DektakXT的創新性設計相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上簡潔的用戶界面，具備智能結構，可視化的使用流程，以及各種參數的自助設定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡便的實現各種類型數據的采集和分析。

探針式表面輪廓儀技術參數：

—臺階高度重復性5?

—Single-arch設計大大提高了掃描穩定性

—前置敏化器件，降低了噪音對測量的干擾

—新的硬件配置使數據采集能力提高了40%

—64-bit，這一Vision64同步數據處理軟件，使數據分析速度提高了十倍，功能，操作簡易

—直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行

—針尖自動校準系統讓用戶更換針尖不再是難事，臺階儀（表面輪廓儀）領域無可撼動的地位

—布魯克的臺階儀，體積輕巧，功能強大

—單傳感器設計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍