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這是一款共聚焦（Confocal）型的視頻圖象坐標測量儀，它能夠在同一視場內，同時完成二維平面和一維高度的高精度測量。高速、高精度地檢測IC封裝的立體形狀。
產品簡介
詳細介紹
CNC視頻圖象坐標測量儀
尼康NEXIV VMR-K3040ZC視頻圖象坐標測量儀
這是一款共聚焦（Confocal）型的視頻圖象坐標測量儀，它能夠在同一視場內，同時完成二維平面和一維高度的高精度測量。高速、高精度地檢測IC封裝的立體形狀。
1、2、3 型
利用共聚焦光路，實現大視場、高速、高精度的微觀高度測量；
在同一視場內，能夠同時完成二維平面和一維高度的高精度測量；
同時擁有普通機型的15倍高速CNC變焦光學系統，可以進行明暗場圖象的二維幾何測量；
8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置；
通過對硅片尺寸、芯片尺寸、芯片間隔的，可以按圖定位測量其中的任意一個芯片；
具有等高線顯示、鳥瞰顯示等選配功能。
應用領域：
硅片級芯片封裝（二維＋高度）、MEMS、Probe Card等。
明場
共聚焦
合成效果