當前位置:蘇州三清儀器有限公司>>百級潔凈烘箱>>高溫無塵無氧烘箱>> 晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制
產地類別 | 國產 | 加熱方式 | 電加熱 |
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價格區間 | 面議 | 內膽材質 | 不銹鋼 |
內膽尺寸 | 定制cm | 外形尺寸 | 電加熱mm |
溫度波動 | 0.5℃ | 溫度范圍 | 10-250-300-400-500℃ |
儀器種類 | 精密烘箱 | 應用領域 | 食品,生物產業,農業,能源,建材 |
晶圓烘箱 MES無氧烤箱 三清儀器定制工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,內部光亮整潔,自身潔凈不產塵。
產品主要技術參數:
品 名 | 千級潔凈烘箱 |
型 號 | SKCOL-9070A*4 |
工作室尺寸 | W400 * D350 * H500 MM |
總消耗功率 | 2.0 KW |
潔 凈 度 | Class 100 (立方英尺0.5UM顆粒數小于100,立方米0.5UM顆粒數小于3520) |
容 積(L) | 70 L |
溫 度 | RT+20 ~ +250℃ |
配 置 | P.I.D控溫 三色燈,急停按鈕 |
設備技術指標
項目 | 內容 |
工作室容積 | (400mm×350mm×500mm )(W寬×D深×H高) |
工作溫度范圍 | RT+20 ~ +250℃ |
升溫速率 | 5℃/min (空載,非線性) |
溫度偏差 | ≤±1℃(空載,恒定狀態時) |
溫度精度/分辨率 | ±0.1℃ |
溫度波動度 | ±1℃(空載,恒定狀態時) |
溫度均勻性 | ±1.5%(空載,恒定狀態時) 200℃時誤差為±3℃ |
時間定時范圍 | 0 – 9999 小時,分鐘,秒 |
潔凈等級 | Class100 立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵粒≤1000 |
總功率 | 2.5 KW |
電源 | 220V 50Hz (三相五線) |
電源線 | 2.5米 |
箱體結構系統
項目 | 內容 |
結構方式 | 整體結構采用單門立式結構,控制柜位于箱體上方,外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑,工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,內部光亮整潔,自身潔凈不產塵。 |
材料構成 | 1.外壁材料:1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑,顏色為工業白。 2.內壁材料:2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。 3.絕熱材料:100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。 |
結構強度 | 箱底板承重能力:≤130Kg(均勻負載) |
柜門 | 1.單開門結構,門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。 2.拉手采用拉桿式安全防爆拉手。 |
備注:干燥箱工作室內部經過堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。用戶在使用潔凈烘箱之前應使用無紡無塵布擦拭工作室內部及隔板。
項目 | 內容 |
配置 | 1.風道位于箱體頂部與背部,高效過濾器H.E.P.A位于箱體風道內部。 2.熱風經過H.E.P.A進入干燥箱內部,再循環至頂部進入風道,往復循環。 3.三相異步長軸耐高溫長軸馬達,帶相序保護,超溫過流保護。 4.不銹鋼渦輪扇葉,出廠經動平衡調校,確保送風平穩。 5.排風口:不銹鋼排風管,帶自動風閥,排風管位于箱體背部。 |
工作方式 | 設備啟動,鼓風裝置持續運行,箱內熱風循環。 |
過濾系統
項目 | 內容 |
配置 | 1.耐高溫高效過濾器,過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um) 2.采用進口耐高溫超細纖維芯材,連續耐溫350℃,鋁箔隔層,陶瓷膠密封 3.邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條 |
工作方式 | 設備啟動,熱風循環啟動,熱風通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。 |
安全保護系統
項目 | 內容 |
工作室 | 獨立式工作室超溫保護器 |
加熱系統 | 欠壓、超壓保護.過流保護.加熱器斷線保護.超溫保護 |
熱風循環系統 | 相序保護.缺相,欠壓保護.過熱,過載,過流保護 |
電源系統 | 電源缺相及相序錯誤保護.漏電保護.加熱器超溫保護.加熱器短路過流保護 |
其他 | 設備外殼接地保護,電磁門禁系統 |
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