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波前傳感器是一種用于測(cè)量光學(xué)波前的計(jì)量工具。雖然“波前傳感器"一詞涵蓋各種儀器，但它具體指獨(dú)立運(yùn)行而不需要參考光束的波前測(cè)量設(shè)備，例如 Fizeau 或 Twyman-Green 干涉儀。制造波前傳感器的主要技術(shù)是 Shack-Hartmann 和橫向剪切干涉法。Phasics 的波前傳感器基于四邊形剪切干涉技術(shù)。

一、SID4 UV波前傳感器介紹

SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感應(yīng)功能，非常適合紫外光學(xué)測(cè)試、紫外激光表征(用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用)以及鏡頭和晶圓的表面檢查。

● 非常高的分辨率 – 250 × 250 采樣

● 高靈敏度 – 2 nm RMS

● 經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的紫外波前測(cè)量解決方案

二、SID4 UV波前傳感器參數(shù)

三、應(yīng)用

激光行業(yè)

半導(dǎo)體

天文學(xué)

航空航天

AR/VR