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應用領域 | 綜合 |
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產品描述
超高真空微型光柵尺SMG26特點,體積小,結構緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,最高可達100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細分倍數下的允許速度值,精度高,絕對精度±3μm(20℃),采用玻璃柵尺,膨脹系數小,讀數穩定性良好。分辨率高,配合TF15細分接頭,讀數分辨率可達1nm。安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)。
○體積小,結構緊湊。
○適用于超高真空使用。
○良好的耐高溫性,最高可達100°C。
○精度高,絕對精度±um(20°C)
○采用玻璃柵尺,膨脹系數小,讀數穩定性良好。
○分辨率高,配合TF15細分接頭,讀數分辨率可達1nm,
○安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)
TF細分盒信號速度介紹
SMG26系列光柵的柵距為256um,下表為不同細分倍數下的允許速度值。