目錄:北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司>>澤攸科技電子顯微鏡>>SEM原位解決方案>> SEM原位解決方案——納米探針臺
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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產(chǎn)品描述
SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點,可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。
SEM納米探針臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動,運無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。
▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場發(fā)射SEM,保證電鏡安全性
▲ 探針驅(qū)動方式:PZT壓電陶瓷
▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm
▲ 細調(diào)行程:3um
▲ 細調(diào)最小步長:≤1nm
▲ 控制模式:開環(huán)/閉環(huán)
▲ 探針數(shù)量:最多支持8探針
▲ 制冷系統(tǒng)(選配功能):熱臺200℃;冷臺-60℃(TEC);冷臺-170℃(液氮)
• 主要配置
壓電探針臺、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環(huán)選配)、壓電冷臺(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(tǒng)(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等
▲ 結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
▲ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
▲ 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命
▲ 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋
▲ 應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測量、生物細胞DNA操作等
▲ 適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等
電容樣品測試
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薄層材料測試