Parker派克派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優異的泄漏完整性，高循環使用壽命和低顆粒發生，非常適用于UHP半導體應用。
派克漢尼汾的930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計，可大限度地減少顆粒產生和截留，減少半導體應用中必布可少的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計，控制閥座和隔膜應力，以提供穩定和免維護的使用壽命。Parker派克930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供桌越的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質。 Vericlean™ 是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK® ）和聚酰亞胺（Vespel®）材質的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結合Parker派克930系列嚴格的設計特點，給予了美國Parker派克930系列產品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環使用壽命。
Parker派克930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關，用以提供開 - 關位置指示。還有多種閥體構造可選，包括派克930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。
Parker派克930系列閥門上內部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，以適應在苛刻的UHP應用中，保有其性能和穩定性。
●標準表面處理5微英寸Ra ●內部無螺紋，無彈簧
●從真空到300psig都能正常工作 ●高循環壽命（包括腐蝕性服務）。
●100%氦氣泄漏測試 ●標準的全內部電鍍
●最小的顆粒產生和顆粒夾帶區域
Vericlean™ ，Veriflo的低硫高純度316L不銹鋼增強了電拋光、焊接和抗腐蝕能力
市場：
√半導體
√分析實驗室
√制藥
√生物制藥
√航空航天
√工業
特點與優勢：
√電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）
√高循環使用壽命（包括耐腐蝕性服務）
√內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留
√全壓力范圍使用:從真空到300 psig
√內部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
√外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
√AOP驅動，額定壓力為75 psig
應用：
√腐蝕性氣體和特種氣體
√半導體工具
√工具連接
√燃氣柜
√閥組箱（VMB）
Vespel®是杜邦高性能彈性體L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注冊商標。
Vericlean™ 是派克漢尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商標
PEEK™ 是威格斯公司（Victrex plc）的商標。
Parker派克UHP隔膜閥930系列現貨銷售尺寸圖：
Parker派克UHP隔膜閥930系列現貨銷售先關型號：
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Parker派克930系列閥門是為半導體OEM和工藝晶圓制造的超高純度應用而設計的。
Parker派克930系列有多種手動操作器和氣動執行器可供選擇。氣動執行器提供LP（125 PSI）或MP（300 PSI）的操作范圍。
手動閥和AOPMP（中壓）閥的工作壓力均為300psig，為該產品系列提供了更大的應用范圍。
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