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一般目前的四探針電阻率(電導率)測試儀均已配置厚度的修正,通過厚度數(shù)值的設置,計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,zui常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上,并且間距相等,都是S,一般采用0.5mm的間距,不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。可以測量片狀、塊狀半導體材料的電阻率,擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。也可測柔性導電薄膜和玻璃等硬基底上導電膜的方塊電阻(簡稱方阻),換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
金屬薄膜四探針電阻率測試儀價格
儀器所有參數(shù)設定、功能轉換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動轉換量程;測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長;測試結果由數(shù)字表頭直接顯示。在計算機控制下進行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正,測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據,把采集到的數(shù)據在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。
恒流源:
輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔
10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調
10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1%
適合測量各種厚度的硅片
基本技術參數(shù)
1.測量范圍、分辨率
電 阻: 1.0×10-3~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω
電 阻 率: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω-cm 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻: 10.0×10-3~ 200.0×103Ω/□ 分辨率1.0×10-3~ 0.1×103 Ω/□
測量范圍:0~199.9mv,靈敏度:100μv,準確度:0.2%(±2個字),供電電源:AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
使用環(huán)境:
相對濕度≤80%
重量、體積
重量:2.2 公斤
體積:寬210×高100×深240(mm)
產品特點:
■ 四探針:一次測量,顯示完整電阻率值。
■ 采用了*的恒流源技術,能夠滿足寬范圍的電阻率測試要求
■電阻率測量:大屏幕清晰顯示硅料電阻率值,方便檢料工快速分選
■ 電流測量:本儀器采用良好芯片技術,可通過調節(jié)硅材料厚度,儀器可直接鎖定電流,使測量使用更加簡便準確,本儀器可根據需要配備測試平臺, 利用測試平臺可以測試薄片電阻率
注意事項:
1、儀器不使用時請切斷電源,連接線無需經常拔下,避免灰塵進入航空插引起短接等現(xiàn)象,
2、探針筆測試結束,套好護套,避免人為斷針
3、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書,規(guī)范操作
4、輕拿輕放,避免儀器震動,水平放置,垂直測量
量程劃分及誤差等級
量程 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
誤差 | 基本誤差±0.5%FSB±5LSB(在各量程范圍內),超量程或欠量程可測量,但誤差將隨超欠程度而變大 |
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