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雙電法四探針測試儀
雙電測四探針電阻率方阻測試儀
本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。
液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
規(guī)格型號 | FT-341 | FT-342 | FT-343 | FT-345 | FT-346 | FT-347 |
1.方塊電阻范圍 | 10-5~2×105Ω/□ | 10-4~2×103Ω/□ | 10-3~2×105Ω/□ | 10-3~2×103Ω/□ | 10-2~2×105Ω/□ | 10-2~2×103Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6~2×106Ω-cm | 10-5~2×104-cm | 10-4~2×106Ω-cm | 10-4~2×104-cm | 10-3~2×106Ω-cm | 10-3~2×106Ω-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA,μA,0μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 0.1μA,μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.顯示讀數(shù) | 大屏液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 | |||||
7.測試方式 | 雙電測量 | |||||
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W | |||||
9.整機不確定性誤差 | ≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果) | |||||
10.選購功能 | 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺 | |||||
11.測試探頭 | 探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針 |
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