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海洋光學SpecEl-2000-VIS橢偏儀,海洋光學

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  • 型號 specEI
  • 品牌
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 成都市
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更新時間：2016-11-28 15:02:41瀏覽次數：2359

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產品簡介

橢偏儀測膜厚的優點?1.測量對象廣泛：可測透明膜，多層膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被測量的薄膜尺寸可以很小。?3.測量速度快。（7-13s檢測時間）?4.光學測量方法對樣品表面損傷Z小。?5.測量精度高，海洋光學橢偏儀可以達到0.1nm的精度，而國內同類型產品只能達到1nm精度.?6.非苛刻性測量，樣品可是塊狀固體或薄膜

詳細介紹

 

海洋光學SpecEl 橢偏儀的基本原理：測量光在反射或者穿透待測樣品時其偏振性質的改變。而偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如厚度d、折射率n或消光系數k決定。

•偏振態的改變主要表現為振幅tan（Psi）和相位cos（Delta）的變化，而相位的變化會導致干涉條紋的產生，橢偏儀就是根據干涉光譜的分析來得出n,k,d.
•橢偏儀優勢：非破壞性、非苛刻性、高精度和高靈敏度

海洋光學SpecEl 橢偏儀


 

SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率，吸光率及膜厚的測量。

集成的精確測量系統

SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成，并配有一個32位操作系統的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達0.005%。

SpecEl軟件及Recipe配置文件

通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實驗設計方法實現一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中。創建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執行你的實驗。

 

SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度，折射率及吸光率。

配置說明

波長范圍:380-780 nm （標準） 或450-900 nm （可選）
光學分辨率:4.0 nm FWHM
測量精度:厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:70°
膜厚:單透明膜1-5000 nm
光點尺寸:2 mm x 4 mm （標準） 或 200 µm x 400 µm （可選）
采樣時間:3-15s （zui?。?/span>
動態記錄:3 seconds
機械公差 （height）:/- 1.5 mm, 角度 /- 1.0°
膜層數:至多32層
參考:不用

 

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