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臺式薄膜沉積系統PVD系統
臺式薄膜沉積系統為是模塊化的PVD系統,為您的研究和實施應用提供了多種沉積選項。可裝配電子束蒸發源E-beam,ORCA低溫蒸發源,熱蒸發源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統為是模塊化的PVD系統,為您的研究和實施應用提供了多種沉積選項。可裝配電子束蒸發源E-beam,ORCA低溫蒸發源,熱蒸發源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統是研究和開發的理想選擇,因為它具有模塊化的特性。所有基本元件都可以訪問,允許對各種組件進行測試,并對幾種薄膜沉積技術中涉及的工藝進行探索,包括:表面分析樣品制備,濺射,熱蒸發,有機物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括:金屬和光刻膠剝離工藝,EM樣品制備,新型涂料研發,磁控濺射沉積*化
用戶可購買基本型號,在必要時升級到*高級別的組件,這些升級是模塊化的,安裝簡單,減少了系統停機時間和安裝成本。
臺式薄膜沉積系統配有一個80升/秒的泵,可實現高達8×10^-7毫巴的基本真空,并可實現高至100毫米的樣品尺寸。該系統還配有一個多樣品支架,可同時容納幾個較小的樣品。
臺式薄膜沉積系統可升級300升/秒的泵,可實現4×10^-7毫巴的基本真空。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室,其空間可容納多達150毫米的樣本,或多個較小的樣本。
臺式薄膜沉積系統由一個六面鋁框架高真空室組成,該室重量輕,但足夠堅固,適用于大多數物理氣相沉積應用。
六邊形結構支撐六塊模塊化面板,包括:空白面板,“視口"面板,沉積源面板,PLD儀表過程控制面板,包括質量流量控制器和厚度控制,用于現場監測的QCM面板該設計使用標準化配件,包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭,以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母。這種標準化使切換面板和根據特定應用調整系統變得簡單。模塊化設計還使維護和重新配置*快、*高效。
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