氦質譜檢漏儀

移動式檢漏儀針對快速達到抽速要求和響應時間短進行優化，以滿足大部件測試的需要。半導體加速器太陽能行業真空鍍膜杰出性能，快速測試ASM 390 和 ASM 392 的泄漏檢測解決方案，可用于半導體和顯示器產業以及其他要求很高的應用，這些應用需要快速的抽空時間和高靈敏度。兩種型號都符合 Semi S2 標準。這些檢漏儀都裝備干式非接觸前級泵和強大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392 裝有一臺額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測流程，降低生產設備的停機時間。

 耐用、精確、可靠ASM 390 和 ASM 392 的開發是基于實現任何等級的操作人員都能上手的設備。他們都可以在最短的時間里提供優秀性能和精確的結果，從而在現場提高效率。 

符合人機工學且操縱靈敏ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺，人機工學設計獨唯，尺寸和高度合適，前部有一輔助手柄，顯示器可自由旋轉、可拆卸，前部入口易于連接測試端口，可用于各種測試場地，即使狹小的空間也應對自如。

 精巧智能且用戶友好通過色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉和真空波紋管存儲的集成工具箱，在使用地點所有需要的附件無不齊備，您會感嘆泄漏檢測多么輕松。

應用 ■半導體行業 ■大面積鍍膜 ■太陽能行業 ■加速器 ■真空組件 – 饋通、閥門、波紋管、伸縮接頭 ■激光技術 ■超純介質供應 ■電子部件 ■航空工程 ■醫療技術

氦質譜檢漏儀技術參數特點ASM 390 ASM 392可檢測氣體4He、3He、H2氦氣最小可檢測泄漏率（真空泄漏檢測）1 · 10-12 mbar l/s氦氣最小可檢測泄漏率（吸槍泄漏檢測）1 · 10-8 mbar l/s氦氣抽速10 l/s 25 l/s前級容量35 m3/h最大入口測試壓力20 mbar（可選粗檢模式）無校準的啟動時間 (20°C) 2 min入口法蘭DN 40 ISO-KF響應時間< 1 s接口RS-232，I/O，以太網（查詢操作說明以獲取更詳細信息）噪音水平≤ 55 dB (A)工作溫度10-35 °C電源電壓100-240 V，50/60 Hz功耗800 W最高功耗1,600 W重量125 kg 130 kg規格（長X寬X高）1,072 x 455 x 1,025 mm配件配件訂貨號用于 ASM 390 和 ASM 392 的瓶托126561遙控RC10（有線/無線操作，彩色觸摸屏）124193基本型帶 5 m 的線纜106688三腳快拆扳手 DN 40 KF 118801標準吸槍探頭2) 5 m 長軟管，9 cm 鋼性噴嘴SNC1E1T1外部通訊盒 ECB-Wifi 125902氦氣噴槍標準112535噴槍 “Elite" 帶附件，裝一箱109951入口粉塵過濾器2)黃銅，20 µm，DN 40/40 ISO-KF 105842不銹鋼，15 µm，DN 40/40 ISO-KF請咨詢1)可以用以太網創建額外的 COM 端口，從而通過計算機操作檢漏儀2)可以提供其他配置，請聯系您的當地普發真空支持版本a ASM 390 CSGB01 ASM 392 ESGB02接口板b基本型 15 針 I/O 0 37 針 I/O 2 37 針 I/O + 以太網1) 4排氣可定制c無（標準）A排氣管 DN 25 B排氣管 DN 40 C

客戶受益

 ■可操作性高、設計緊湊

 ■杰出的泄漏檢測性能

 ■大型可旋轉彩色觸摸屏 

 ■粗抽能力高 (35 m3/h)，可快速排空 

 ■干燥清潔的泵送技術 

 ■保養要求低 

 ■工作面采用人體工學設計 

 ■發生污染時快速恢復 

 ■直觀菜單，易于操作

 ■集成工具箱，用于存儲附件

 ■快速啟動 

 ■高靈敏度，測量精確

 ■符合 Semi S2 標準