產品描述：
10898A 雙通道激光軸板提供與 10897B 高分辨率激光軸板相同的分辨率，但轉換速率更高，噪聲更低。與以前的激光系統相比，更高的載物臺速度限制和低噪聲為 IC 制造設備等高級應用提供了定位可重復性和精度。與前代產品 10897B 一樣， 10898A 采用高分辨率平面鏡干涉儀，可提供 lambda/2048（0.3 nm）的測量分辨率
特點：
高精度測量：10898A雙激光軸板采用優良的激光技術，能夠實現高精度的測量，確保測試結果的準確性和可靠性。
高分辨率：其高分辨率特性使得在測量過程中能夠捕捉到更多的細節信息，從而提高測試的精度和準確性。
雙激光通道：具備兩個獨立的激光通道或軸，可以同時進行不同的測量或測試任務，提高測試效率。
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