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TH511 TH512 TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀

簡(jiǎn)介

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢(shì)，針對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。

儀器采用了一體化集成設(shè)計(jì)，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測(cè)試，無(wú)需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù)，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測(cè)試，適用于生產(chǎn)線快速測(cè)試、自動(dòng)化集成。

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

儀器設(shè)計(jì)頻率為1kHz-2MHz，VGS電壓可達(dá)±40V，VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數(shù)功率器件測(cè)試。

性能特點(diǎn)

• 一體化設(shè)計(jì)：

LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機(jī)軟件

• 單管器件（點(diǎn)測(cè)）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)

三種測(cè)試方式

• 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)

同屏一鍵測(cè)量及顯示

• 標(biāo)配2通道，可擴(kuò)展至6通道，可測(cè)單管、多芯或模組器件

（TH513僅1通道）

• CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

• 電容快速充電技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速測(cè)試

• 接觸檢查Cont

• 通斷測(cè)試OP_SH

• 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置

• 柵極電壓VGS：0 - ±40V

• 漏極電壓VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V

• 10檔分選

應(yīng)用

■ 半導(dǎo)體元件/功率元件

二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

電子芯片等寄生電容測(cè)試、C-V特性分析

■ 半導(dǎo)體材料

晶圓切割、C-V特性分析

■ 液晶材料

彈性常數(shù)分析

■電容元件

電容器C-V特性測(cè)試及分析，電容式傳感器測(cè)試分析

TH511 TH512 TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)		TH511		TH512	TH513
通道數(shù)		2（可選配4/6通道）			1
顯示	顯示器	10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏
	比例	16:9
	分辨率	1280×RGB×800
測(cè)量參數(shù)		Ciss、Coss、Crss、Rg ，四參數(shù)任意選擇
測(cè)試頻率	范圍	1kHz-2MHz
	精度	0.01%
	分辨率	10mHz	1.00000kHz-9.99999kHz
		100mHz	10.0000kHz-99.9999kHz
		1Hz	100.000kHz-999.999kHz
		10Hz	1.00000MHz-2.00000MHz
測(cè)試電平	電壓范圍	5mVrms-2Vrms
	準(zhǔn)確度	±（10%×設(shè)定值+2mV）
	分辨率	1mVrms	5mVrms-1Vrms
		10mVrms	1Vrms-2Vrms
VGS電壓	范圍	0 - ±40V
	準(zhǔn)確度	1%×設(shè)定電壓+8mV
	分辨率	1mV	0V - ±10V
		10mV	±10V - ±40V
VDS電壓	范圍	0 - ±200V		0 - ±1500V	0 - ±3000V
	準(zhǔn)確度	1%×設(shè)定電壓+100mV
輸出阻抗		100Ω，±2%@1kHz
數(shù)學(xué)運(yùn)算		與標(biāo)稱(chēng)值的絕對(duì)偏差Δ，與標(biāo)稱(chēng)值的百分比偏差Δ%
校準(zhǔn)功能		開(kāi)路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD、夾具校準(zhǔn)
測(cè)量平均		1-255次
AD轉(zhuǎn)換時(shí)間（ms/次）		快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms 中速：90ms 慢速：220ms
最高準(zhǔn)確度		0.5%（具體參考說(shuō)明書(shū)）
Ciss、Coss、Crss		0.00001pF - 9.99999F
Rg		0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%		±（0.000% - 999.9%）
多功能參數(shù)列表掃描	點(diǎn)數(shù)	50點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù)，每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選
	參數(shù)	測(cè)試頻率、Vg、Vd、通道
	觸發(fā)模式	順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后，在所有掃描點(diǎn)測(cè)量，/EOM/INDEX只輸出一次
		步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出
圖形掃描	掃描點(diǎn)數(shù)	任意點(diǎn)可選，最多1001點(diǎn)
	結(jié)果顯示	同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線
	顯示范圍	實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定
	坐標(biāo)標(biāo)尺	對(duì)數(shù)、線性
	掃描參數(shù)	Vg、Vd
	觸發(fā)方式	手動(dòng)觸發(fā)一次，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成，下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描
	結(jié)果保存	圖形、文件