總評(píng)
        奧林巴斯半導(dǎo)體自動(dòng)檢查顯微鏡MX61A支持300mm硅晶圓檢查及分析。實(shí)現(xiàn)了顯微鏡觀(guān)察中所需操作的自動(dòng)化及電動(dòng)化，具有使用1臺(tái)顯微鏡即可進(jìn)行檢查及分析的靈活性和擴(kuò)展性。MX61A采用的UIS 2萬(wàn)能無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，提高了缺陷檢測(cè)能力。高品質(zhì)的UIS 2物鏡實(shí)現(xiàn)忠實(shí)的色彩再現(xiàn)，暗視野觀(guān)察時(shí)的亮度也提高至該公司原產(chǎn)品的4倍左右。通過(guò)采用新方式的自動(dòng)對(duì)焦；（AF）實(shí)現(xiàn)了檢查及分析作業(yè)的效率化。配備有與物鏡的倍率和觀(guān)察方法切換產(chǎn)生聯(lián)動(dòng)的、用于調(diào)節(jié)出*亮度及對(duì)比度的自動(dòng)調(diào)光功能。此外，AF方面采用了對(duì)焦精度及速度更出色的多點(diǎn)對(duì)焦方式，從而提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性。具有電動(dòng)載物臺(tái)、數(shù)碼相機(jī)及深紫外線(xiàn)觀(guān)察系統(tǒng)等多種擴(kuò)展性系統(tǒng)配置。

對(duì)應(yīng)檢查需求的搭配組合

        靈活地應(yīng)對(duì)不斷變化的檢查需求，這就是檢查引擎（Inspection-Engine）。
        作為核心對(duì)MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制的是操作單元。預(yù)先設(shè)置的觀(guān)察條件可由操作員（觀(guān)察者）隨時(shí)調(diào)用，也可以多人共享。可以選擇適應(yīng)了使用環(huán)境的菜單的操作單元和對(duì)應(yīng)各種觀(guān)察方法的自動(dòng)對(duì)焦單元，提供了更高水準(zhǔn)的檢查環(huán)境。
        

                                               操作單元“OPERATOR（操作員）”操作畫(huà)面

適應(yīng)使用環(huán)境、可以分開(kāi)使用的操作單元

        操作單元備有三個(gè)操作畫(huà)面，觀(guān)察者高效率的操作顯微鏡。

    ·   網(wǎng)羅觀(guān)察的基本操作的“OPERATOR（操作員）”畫(huà)面 
    ·   更高級(jí)操作的“ENGINEER（工程師）”畫(huà)面
    ·   zui多可設(shè)置六個(gè)觀(guān)察條件，可隨時(shí)調(diào)用復(fù)雜條件設(shè)置的“FUNCTION（功能）”畫(huà)面

設(shè)置zui合適的觀(guān)察條件

        與物鏡選擇、觀(guān)察方法切換連動(dòng)的亮度光圈（AS），以及物鏡之間的同一焦點(diǎn)校正、DIC延遲調(diào)節(jié)等均可通過(guò)操作單元觸摸面板進(jìn)行設(shè)置。操作單元有三個(gè)“USER（用戶(hù)）”設(shè)置，可由多位操作員（觀(guān)察者）共享。

可以觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)
        配備了觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)，可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀(guān)察方法等多種操作。只要選擇觀(guān)察方法，就能得到基于登錄條件的zui合適的觀(guān)察影像。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。

強(qiáng)大的缺陷檢查能力

        采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫*化，實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。

自動(dòng)調(diào)節(jié)*亮度

        物鏡選擇和觀(guān)察方法切換連動(dòng)，自動(dòng)地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀(guān)察速度并減輕疲勞。

抑制影像中心偏移的UIS2物鏡

        在觀(guān)察視場(chǎng)狹窄的數(shù)碼影像中，為了不讓觀(guān)察對(duì)象偏離視場(chǎng)，高倍率物鏡的偏心精度提高了2倍。極大地減少了切換物鏡時(shí)產(chǎn)生的圖像中心的偏移。

        在深紫外線(xiàn)到可視、近紅外線(xiàn)觀(guān)察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀(guān)察單元組合，可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉、熒光、近紅外線(xiàn)、深紫外線(xiàn)等觀(guān)察。
        觀(guān)察方法的切換非常簡(jiǎn)單，只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以。

實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒(méi)有危害的自動(dòng)化

        符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準(zhǔn)），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn)）和CE標(biāo)識(shí)（歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證）等的標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性。

        備有2種能以舒適姿勢(shì)觀(guān)察的傾斜鏡筒。可以根據(jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào)，或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀(guān)察的U-SWETTR-5型號(hào)。

        傾斜觀(guān)察筒傾斜角／光路分割

全自動(dòng)半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格