瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商
VAT是一家在真空閥門領域處于絕對位置的瑞士公司,VAT自1964年成立以來,在真空閥門技術領域實現了專業化的運作。因其強大的研發創新和業界聞名的高品質,世界各半導體芯片設備、太陽能設備制造廠商、大學和科研機構大量采用了VAT公司的產品,其生產的閥門在真空產生和研究系統中都是業界的標準組件。
VAT閥門主要運用在:半導體加工,玻璃或鍍膜設備,高能物理(科研),同步加速器(科研),激光技術,空間模擬,冶金,表面分析等行業。產品包括:插板閥、蝶閥、傳送閥、隔膜閥、角閥等,是高靈敏度和高可靠性的控制真空閥。
產品服務:
瑞士VAT閥門、閘閥、鐘擺閥、控制閥、角閥、隔膜閥、連接部件、多閥門模塊、加熱器、鍍膜
品牌介紹:
VAT真空閥門公司是一家活躍于市場的瑞士公司,是真空閥門開發、制造和銷售的公司。產品廣泛用于半導體、鍍膜行業和研發、平板顯示器制造,玻璃和工具鍍膜,冶金,表面分析,高能物理學,同步加速器,激光技術和太空旅行模擬等領域。
主要型號:
010系列、012系列、081系列、091系列、108系列、110系列、121系列、140系列、150系列、152系列、162系列、168系列、640系列、641系列、650系列、652系列、022系列、032系列、043系列、075系列、076系列、066系列、211系列、214系列、216系列、245系列、264系列、471系列、773系列、790系列、790系列
瑞上VAT部分產品介紹
1.VAT閘閥
具有模塊化執行機構概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合I業和研發應用。它通常用于半導體工藝系統的管道中。插入版本
以集成到真空系統中(無閥體),更高的密封材料(Chemraz, EPDM等), 帶有VITON制成的密封件,可更換,特殊的閥門澆口,適
合安裝各種孔板。
2.VAT蝶閥
VAT蝶閥是下游應用的蝶形壓力控制閥。帶有非常快速且堅固的執行器,高性能,集成控制器,具備極短的控制響應時間和位置指I
示,自動維護指示,出色的抗污染能力。該閥"的控制器可確保非常快速和準確的壓力控制。通過操作L EARN功能,在啟動時只
需要執行一次,即可自動確定系統參數。由于采用了自適應算法,因此控制器可以連續適應過程條件(氣體種類,氣體流量),從而
確保隨時進行最佳壓力控制。
B.VAT轉換閥
VAT轉換閥用于200.300和450毫米晶圓的半導體生產系統中的負載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動執行器,主體材質為鋁,不銹
鋼,波紋管受保護,使用壽命長,大于500萬次循環的預期壽命,公稱內徑32x222到56x496毫米。
4.VAT角閥
VAT角閥適用于大多數腐蝕性氣體,除氣率極低。當排氣速率極低時,對于特高壓系統的泵送和排氣很重要。耐高壓差,固定式可
旋轉CF法蘭,在最高溫度80°C下可以進行300萬次循環,主體材質不銹鋼,執行器類型分為手動執行器(手輪),氣動執行器(單閉
孔,帶有閉合彈簧NC)。
5.VAT軟啟動閥
VAT軟啟動閥由兩半節流閥瓣組成,它們支撐在一條公共軸 上,并通過彈簧保持在打開位置。軸保持在ISO KF對中環中,該對中環
形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個SO-KF法蘭(而不是定心環之間時,必須將打開的閥對準真空管路中的氣流。當粗加
工系統投入運行時,在粗加工管線中會產生強氣流,該氣流會立即關閉閥門,并使管段減少約99%。當達到約2%的壓差時,在
15mbar時,閥]打開并幾乎毫5阻礙地離開管道,以進行進步泵送。
瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商