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薄膜熱物性基本測量單元 ：

測量室，真空泵，帶加熱器的支架，電子頰側裝置，集成鎖相放大器，3w方法分析軟件，計算機和應用軟件。可測以下物理參數：

 l -熱傳導系數 (穩態法/平面內方向)

 r - 電阻率

 s - 電導率

 S - 賽貝克系數

 e – 發射率

 cp - 比熱容

磁測量單元

可根據需求選擇集成式電磁鐵，可測物理參數如下：

 AH - 霍爾常數

 μ –遷移率

 n -載流子濃度

薄膜材料性能有別于塊體材料之處

-        因小尺寸和高縱橫比所導致的表面效應如：邊界散射和量子限域效應

薄膜熱物性系統主要特點： 
高效便捷的薄膜材料表征手段（nm到um薄膜測試）。
不同溫度下的測量（-170 to 200℃<-可選300℃>）
樣品易于制備和處理
高的測量適應性 （樣品厚度，電阻率，沉積方式）
一個樣品，一次同步測量即可獲得所有相關參數。
適用于金屬、陶瓷及有機材料。