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林賽斯 薄膜綜合物性分析儀 TFA主要特點： 

高效便捷的薄膜材料表征手段（nm到um薄膜測試）

不同溫度下的測量（-170 to 200℃<-可選300℃>）

樣品易于制備和處理

高的測量適應性 （樣品厚度，電阻率，沉積方式）

一個樣品，一次同步測量即可獲得所有相關參數

適用于金屬、陶瓷及有機材料

●基本測量單元：

測量室，真空泵，帶加熱器的支架，電子頰側裝置，集成鎖相放大器，3w方法分析軟件，計算機和應用軟件。可測以下物理參數：

l - 熱傳導系數(穩態法/平面內方向)

r - 電阻率

s - 電導率

S - 賽貝克系數

e – 發射率

cp - 比熱容

●磁測量單元：

林賽斯 薄膜綜合物性分析儀 TFA可根據需求選擇集成式電磁鐵，可測物理參數如下：

AH - 霍爾常數

μ - 遷移率

n - 載流子濃度

薄膜材料性能有別于塊體材料之處

-因小尺寸和高縱橫比所導致的表面效應如：邊界散射和量子限域效應