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勞厄單晶取向測試系統:
水平放置系統
特征 | 優點 |
<200um 光束尺寸 | 可測量小 晶體 |
電動位移臺 | 可沿生長軸軸向掃描 |
電動角位移 | 與同步加速器/中子設備直接兼容 |
手動角位移 | 與切割刀具直接兼容 |
垂直放置系統
特征 | 優點 |
<200um 光斑 | 適用于小晶粒的多晶結構 |
大范圍電動線性掃描位移臺 | 允許自動晶圓mapping或多個樣品 |
電動Z 軸驅動 | 適用大尺寸晶棒或樣品 |
手動角位移 | 允許定位到+/- 0.02度精度 |
配備PSEL CCD 背反射勞厄X-RAY 探測器:
勞厄影像校準軟件:
系統附件包括:
典型勞厄衍射應用圖樣:
勞厄單晶取向測試系統應用方向: