由力矩馬達和液壓放大器組成。

　　力矩馬達組成

　　由一對*磁鐵、導磁體和銜鐵、線圈和內部懸置擋板的彈簧管等組成 。

　　液壓放大器組成

　　前置放大器  前置放大級是一個雙噴嘴擋板閥，它主要由擋板、噴嘴、節流孔和濾油器組成。

　　功率放大器  功率放大級主要由滑閥9和擋板下部的反饋彈簧片組成。

　　對于伺服閥的選取,有許多因素可考慮,但有兩點是設計者必須認真對待的。

　　1 　閥的類型

　　在滿足系統zui重要指標（如閥的頻寬、流量特性等） 的前提下,盡量考慮選用對油的污染敏感度低的伺服閥（而不是比例閥） 。實踐證明,80 %以上伺服閥的故障與70 %以上的伺服系統的故障來自于油的污染,而油的污染zui容易堵塞的是伺服閥的流道（如噴嘴擋板閥的噴嘴與擋板間的間隙,通常其間隙量小于0. 1mm） 。

　　就閥本身而言,一般情況下,其對油的污染的不敏感性為:大流量閥優于小流量閥（結構形式和放大級數相同前提下） ,動圈式力馬達（推力或力矩大） 優于動鐵式力矩馬達,滑閥式（取消固定節流孔后流道變大） 和射流管式（噴嘴及其與接受孔間的距離大） 優于噴嘴擋板式,比例閥（其滑閥行程xv 大） 優于伺服閥,比例壓力閥或比例拆裝閥優于比例方向閥。如噴嘴擋板式伺服閥,對油的精度要求為優于NAS1638 標準的6 級（ ISO4406 標準的14/ 11 級） ,而動圈式力馬達式伺服閥或比例方向閥,對油的精度要求為NAS1638 標準的7 級（ ISO4406 標準的15/ 12 級） 即可。而比例壓力閥或比例拆裝閥對油的精度要求還可再低一個等級,如NAS1638 標準的8 級（ ISO 標準的16/ 13 級） ,已接近普通拖動系統對油的使用要求。

　　有一種考慮是設計中盡量選用比例閥,其依據是既可使系統對油的精度要求降低,又可降低成本。筆者認為這種想法是不足取的。因為比例閥不僅頻響低（一般低于10 赫芝,新設計概念的“比例閥”另當別論,因其已超出了傳統比較閥的范疇,且價格不菲） ,更要緊的是,由于結構原理和加工精度等原因,它的非線形區（死區） 范圍大。所以選用比例閥作閉環控制的直接后果是:

　　（1） 使整個系統的頻響大大降低。由控制理論分析知,即使執行機構（即缸） 的頻響再高,整個系統的頻寬也不會大于10 赫芝。

　　（2） 有可能使控制系統不穩定（由控制理論非線形分析可知） ,造成伺服液壓缸無法正常工作。所以,在選用比例閥時應慎重。一般認為,在滿足頻響（由分析知,當閥的頻響大于3 倍缸的頻響時,系統動特性就由缸的頻響決定） 的前提下,對于中小流量（小于100 升/ 分） 情況,建議選用單級動圈式馬達驅動滑閥式伺服閥（如Moog633 、634 等,其頻響很易做到80 - 100 赫芝） 。對于大流量（100 升/ 分以上） ,建議選用動圈式力馬達為先導級的滑閥式多級伺服閥（如上海液壓件一廠的DY系列、北京機械工業自動化所的SV 系列等,其頻響可達50 - 80 赫芝） 。

　　這種僅供參考的選取,可以兼顧伺服缸對動態性能的要求和對油的污染度的要求。

　　2 　閥的流量美國MOOG伺服閥選型

　　一般選取的順序是,先由執行機構zui大負載pL下應達到的速度確定負載流量QL ,再由QL 確定系統的空載流量QS ,即

　　QS = QL

　　pS

　　pS - pL

　　式中: pS -系統供油壓力;

　　pL -負載壓力

　　定出QS 后,再由樣本選取規定閥壓降ΔpN （一般為7MPa） 下的空載流量QR ,即:

　　QR = QS

　　ΔpN

　　pS

　　這樣,閥的流量就可以初步確定下來了。

　　但是,考慮到輸入信號的多變性（常會大于預計輸入信號的zui大值,此時會引起流量飽和,劣化系統的品質指標） ,為使控制系統具有較強的適應性,建議實際選用的伺服閥的空載流量QR應大于或等于2 倍的計算空載流量QR 。閥的規格過大的不足是響應慢（因慣量大） ,且閥的大行程得不到經常有效的工作和磨合,系統的靈敏度也差。

　　改善這種狀況有效的做法是,選用兩個較小規格的伺服閥,其流量之和等于所需的一個大規格閥的流量,將其并聯使用,這可在幾乎不增加成本的前提下明顯改善伺服缸的動特性。

　　1 力矩 馬達部分

　　1．1 線圈斷線 ：引起閥不動作，無電流。

　　1．2 銜鐵卡住或受到限位 ：原因為工作氣隙內有 雜物，引起閥門不動作。

　　1．3 球頭磨損或脫落 ：原因為磨損 ，引起伺服閥 性能下降 ，不穩定 ，頻繁調整。

　　1．4 緊固件松動 ：原因為振動 ，固定螺絲松動等， 引起零偏增大。

　　1．5 彈簧管疲勞：原 因為疲勞，引起系統迅速失 效 ，伺服閥逐漸產生振動，系統震蕩，嚴重 的管路也 振動 。

　　1．6 反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞 ，引起閥不能 正常工作 ，零偏大 ，控制電流可能到zui大。

　　2 噴嘴擋板部分：

　　2．1 噴嘴或節流孔局部或全部堵塞 ：原因為油液 污染。引起頻響下降，分辨率降低 ，嚴重的引起系統 不穩定 。

　　2．2 濾芯堵塞：原 因為油液污染。引起頻響下 降 ，分辨率降低 ，嚴重的引起系統擺動。

　　3 滑閥放 大器部 分 ：

　　1 刃邊磨損 ：原因為磨損。引起泄漏 ，流體躁 聲大 ，零偏大 ，系統不穩定 。

　　2  徑 向濾芯磨損 ：原因為磨損。引起泄漏增 大，零偏增大 ，增益下降。

　　3 滑 閥卡滯 ：原 因為油液污染 ，滑閥變形。引 起波形失真，卡死。

　　4 其 它部 分 ：

　　4．1 密封件老化 ：壽命已到或油液不符。引起閥 內外滲油 ，可導致伺服閥堵塞。