費斯托過濾減壓閥工作原理順時針旋轉調節螺絲，調節彈簧受力并向下壓膜片，于此相連的閥芯和底盤向下移動，這時閥芯底盤上方形成通路，氣源壓力通過出口輸出。當出口壓力上升到設定壓力大小時，通過出口壓力感應孔傳達到膜片底部，和彈簧壓力保持平衡，并維持設定壓力。當出口壓力大于設定壓力，通過出口壓力感應孔傳達到膜片底部，膜片和底盤間的孔開啟，出口壓力通過這個孔傳達到彈簧室 內并向大氣排出，維持設定壓力。

費斯托過濾減壓閥工作原理順時針旋轉調節螺絲，調節彈簧受力并向下壓膜片，于此相連的閥芯和底盤向下移動，這時閥芯底盤上方形成通路，氣源壓力通過出口輸出。當出口壓力上升到設定壓力大小時，通過出口壓力感應孔傳達到膜片底部，和彈簧壓力保持平衡，并維持設定壓力。當出口壓力大于設定壓力，通過出口壓力感應孔傳達到膜片底部，膜片和底盤間的孔開啟，出口壓力通過這個孔傳達到彈簧室 內并向大氣排出，維持設定壓力。
35022 MS12-LFR        
537150 MS12-LFR-G-D7-CUV-LD-AS 內置的 11000 ... 14000 l/min 0.5 ... 12 bar 5 µm
537149 MS12-LFR-G-D7-EUV-LD-AS 內置的 12000 ... 17000 l/min 0.5 ... 12 bar 40 µm

費斯托過濾減壓閥可根據輸出壓力精度的要求選配高精度的精密減壓閥；在使用過程中，壓縮空氣經過兩級三段式過濾器去除壓縮空氣中的油、水、塵等雜質后，大大提高了減壓閥膜片的使用壽命和調節壓力的精密度；由于過濾元件使用壽命較長，在維護上可單獨對過濾元件、減壓元件進行修復，無需整體更換，大大節約成本。562531 MS9-LFR   13000 ... 23000 l/min 0.5 ... 16 bar 5 ... 40 µm
564114 MS9-LFR-G-D6-CUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564116 MS9-LFR-G-D6-CUM-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564115 MS9-LFR-G-D6-CUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564117 MS9-LFR-G-D6-CUV-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564110 MS9-LFR-G-D6-EUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564112 MS9-LFR-G-D6-EUM-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
FESTO過濾減壓閥采用滾動式膜片，當輸入端壓力波動時，減壓閥膜片自動作出調整，使壓力平穩的輸出，保證壓力穩定。564111 MS9-LFR-G-D6-EUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564113 MS9-LFR-G-D6-EUV-DI-AG-BAR-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564120 MS9-LFR-G-D7-CUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 5 µm
564121 MS9-LFR-G-D7-CUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 5 µm
564118 MS9-LFR-G-D7-EUM-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 40 µm
564119 MS9-LFR-G-D7-EUV-AG-BAR-AS     0.5 ... 12 bar 40 µm
564128 MS9-LFR-NG-D6-CUM-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564129 MS9-LFR-NG-D6-CUV-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 5 µm
564124 MS9-LFR-NG-D6-EUM-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm
564125 MS9-LFR-NG-D6-EUV-DI-AG-PSI-AS     0.5 ... 7 bar 40 µm

費斯托過濾減壓閥特點：
出口壓力附加平衡提升閥提供了快速響應
具有精確的壓力調節，適用于*壓力控制。
整體控制活塞，有唇形密封，壽命長。
全流量壓力表氣口。
帶防護罩的按壓鎖定式調節旋鈕。
結構緊湊，維護方便