★基于電離電荷的采樣技術 HZK系列真空度測試儀采用電離電荷的采樣技術。我公司專家在磁控放電的研究中發現:在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關性。因此,我公司*了基于電離電荷的采樣技術,顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。 ★ 漏電電流的處理 對處于分斷狀態的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性,并且在數值上與10E-4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。 ★ 判別*漏氣的真空滅弧室 在HZK-VB型機中,通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。 ★ PC機控制測量、計算漏率、形成測量數據庫 這部分是選配件。通過界面進行管型、電流或真空度、所用數據庫的整定,由PC機控制整個測量過程、顯示測量結果并將數據存入整定時的數據庫。同一只真空滅弧室在兩次測量后,可通過界面控制進行漏率計算。 ★ 內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線 真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當內部真空度和外加激勵電源一定時,其放電電荷量是不同的,并且有相當的差異。為準確測量,對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國內主要真空滅弧室生產廠家的密切合作,取得了幾乎國內外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關系的數據,通過數學處理,將其特征參數送入HZK系列產品。因此,HW系列產品內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。這是國內外同類產品中*的。 ★完善的輸入保護電路 當真空滅弧室的真空度非常低時,測量時真空滅弧室會被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上,使其承受十分強的電沖擊。HW的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路,即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發生暫時工作不正常時(重新開機即可),也不會造成電路部分的損壞。 技術參數 ●測量范圍:1×10-5 ~1×10-1Pa ●測量誤差:1×10-4~1×10-1 Pa中誤差<10% ●測量分辨率:10-5Pa ●漏氣的滅弧室在測量中將發生電擊穿。 ●允許環溫:0℃~55℃ ●空氣濕度:<85%RH ●電源:AC220±l0% |