當前,傳感器技術的主要發展動向,一是開展基礎研究,發現新現象,開發傳感器的新材料和新工藝;二是實現傳感器的集成化與智能化。
1>.發現新現象,開發新材料,——新現象、新原理、新材料是發展傳感器技術,研究新型傳感器的重要基礎,每一種新原理、新材料的發現都會伴隨著新的傳感器種類誕生。
2>.集成化,多功能化——向敏感功能裝置發展 傳感器的集成化,zui近積極地應用了半導體集成電路技術及其開發思想用于傳感器制造。如采用微細加工技術MEMS(Microelectro-Mechanical System)制作微型傳感器 ;采用厚膜和薄膜技術制作傳感器等。
3>.向未開發的領域挑戰——生物傳感器 到目前為止,正大力研究。開發的傳感器大多為物理傳感器,今后應積極開發研究化學傳感器和生物傳感器。特別是智能機器人技術的發展,需要研制各種模擬人的感覺器官的傳感器,如已有的機器人力覺、觸覺傳感器、味覺傳感器等。
4>.智能傳感器(Smart sensor)——具有判斷能力、學習能力的傳感器。事實上是一種帶微處理器的傳感器,它具有檢測、判斷和信息處理功能。
如美國霍尼韋爾公司制作的ST-3000型智能傳感器,采用半導體工藝,在同一芯片上制作CPU.EPROM和靜態壓力、壓差、溫度三種敏感元件。
從構成上看,智能式傳感器是一個典型的以微處理器為核心的計算機檢測系統。它一般由下圖所示的幾個部分構成:
圖 智能化傳感器的構成
同一般傳感器相比,智能式傳感器有以下幾個顯著特點:
(1)精度高 由于智能式傳感器具有信息處理的功能,因此通過軟件不僅可以修正各種確定性系統誤差(如傳感器輸入輸出的非線性誤差、溫度誤差、零點誤差、正反行程誤差等),而且還可以適當地補償隨機誤差,降低噪聲,從而使傳感器的精度大大提高。
(2)穩定、可靠性好 它具有自診斷、自校準和數據存儲功能,對于智能結構系統還有自適應功能。
(3)檢測與處理方便 它不僅具有一定的可編程自動化能力,可根據檢測對象或條件的改變,方便地改變量程及輸出數據的形式等,而且輸出數據可通過串行或并行通訊線直接送入遠地計算機進行處理。
(4)功能廣 不僅可以實現多傳感器多參數綜合測量,擴大測量與使用范圍,而且可以有多種形式輸出(如RS232串行輸出,PIO并行輸出,IEEE-488總線輸出以及經D/A轉換后的模擬量輸出等)。
(5)性能價格比高 在相同精度條件下,多功能智能式傳感器與單一功能的普通傳感器相比,其性能價格比高,尤其是在采用比較便宜的單片機后更為明顯。