邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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參考價 | 面議 |
更新時間:2024-05-16 21:16:27瀏覽次數(shù):1594
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
工作原理
Colibrì系統(tǒng)*由微控制器控制。 利用該系統(tǒng),可以簡單地通過執(zhí)行可由用戶編輯的9個配方中的一個來執(zhí)行處理。 使用高精度針閥,將受控的氣流引入處理室。 將低頻信號(50kHz)施加到腔室內(nèi)的電極,這與氣體分子相互作用從而觸發(fā)等離子體。 產(chǎn)生的等離子體提供與待處理基板表面的*單層相互作用的反應(yīng)離子物質(zhì)。 通過對工藝參數(shù)(氣體流量,信號強(qiáng)度,持續(xù)時間......)進(jìn)行處理,可以改變生成的過程。
產(chǎn)品功能
?臺式等離子系統(tǒng),簡單通用
?多可處理十種不同的可編輯配方
?*結(jié)果的*性
?長期可靠性
?使用主要品牌組件
技術(shù)規(guī)格
尺寸 寬 x 長 x 高 450 x 370 x 180 mm
凈重16 Kg (不含真空泵)
凈空右,左,前 - 600mm,后 - 300mm