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深紫外多層反射鏡

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北京征程創(chuàng)拓科技有限公司
2024-11-14 13:13:53
北京市
1638

【簡單介紹】

深紫外反射鏡特別適用于關鍵器件的實驗性參數，例如阿秒脈沖的產生或者其他的實驗。我們的設計技術和應用經驗可以在客戶開始計劃的時候就提供支持。實現深紫外和軟X射線需要安排幾十至幾百層的納米級厚度的膜層，這些膜層有著原子級的光滑界面和亞納米級的膜層控制。這對多層沉積工藝有著很高的要求，而我們的鍍膜設備可以滿足。

【詳細說明】

應用：

單次高諧振的濾波
低至100as的HHG脈沖的濾波
相干HHG輻射的微聚焦
深紫外分光計和干涉計

深紫外多層反射鏡的物理原理是基于多層金屬和非金屬膜層的深紫外散射光的干涉。

目前容易實現的范圍是中心能量帶在30-200eV。以下是一個深紫外反射鏡在中興能量92eV下測得的反射率。

一定的中心能量能得到的zui大反射率和帶寬可以通過下圖模擬。

特別是波長范圍在50-100eV的寬度反射鏡都適合產生隔離的阿秒脈沖。通過我們的深紫外反射鏡，客戶可以實現zui短的脈沖（持續(xù)時間在80阿秒）


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