PLASCALC-2000等離子監控系統描述

PLASCALC-2000等離子監控系統配有2048像元CCD高分辨率的光譜儀，等離子體光輻射測量范圍為200-1100nm，PlasCalc-2000進程控制系統精確可靠，其精密的數據采集和控制算法格外具有優勢，對PC的模擬和數字輸入輸出功能也簡化了進程控制過程。PlasCalc-2000及其軟件系統在數據采集和信號處理上非常方便，波長、測量模式編輯器可以迅速產生有效的測量模式及各種測量模式的組合，適合于控制系統。

PlasCalc-2000參數

200-1100nm光譜的范圍

1.0nm全高半寬分辨率
14位I/O D/A轉換
8個TTL數字I/O端口
4個0-10V模擬輸出端口
USB1.1接口

參數

多達6通道的寬帶光譜數據采集
每個通道都可以獨立配置光譜范圍
小于0.3nm的光學分辨率
16個TTL數字I/O端口
8個1-10V模擬輸出端口
USB2.0接口

應用

通用過程監控
表面清潔過程
保護膜
等離子體刻蝕
等離子室設備健康水平監控
非常規過程處理
多晶硅平整化處理
新的加工過程優化和監控