抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規(guī)，膜片真空計

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計, 在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. *的數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點(diǎn), 如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有超卓的零點(diǎn)穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長使用壽命. *的傳感器屏蔽 （技術(shù)） 保護(hù)真空計防止過程污染. 堅固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了EMC 兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn).

優(yōu)點(diǎn)

■ 全刻度范圍從 100 毫乇… 1000 乇

■ 電源接通后快速穩(wěn)定

■ 暴露大氣壓后快速恢復(fù)

■ 抗腐蝕性陶瓷傳感器

■ 超卓的長期訊號穩(wěn)定性

■ 溫度補(bǔ)償

■ 保護(hù)傳感器防止污染

■ 一鍵調(diào)零功能

■ 寬范圍電源

■ 兩個設(shè)點(diǎn)

■ RS232接口

■ 符合清潔室條件

抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規(guī)，膜片真空計

用途

在要求高的應(yīng)用中用于準(zhǔn)確和快速的壓強(qiáng)測量:

■ 用于刻蝕, CVD, PVD, ALD 等半導(dǎo)體制造設(shè)備

■ 數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設(shè)備

■ 工業(yè)真空設(shè)備

■ 一般高精度壓強(qiáng)測量