UHV真空閥門

UHV NW 25                                                                                                                                      

HPS的超高真空UHV閥門是一種緊湊型真空閥門，可用于PVD、高能物理、質譜儀及其他要求超凈環境的超高真空系統中。真空閥(Vacuum Valves) - 角閥(手動)是屬提升錐閥的一種。當提升錐被頂至頂端時, 閥門內部的結構腔是開放系統且氣體流動不受阻礙。一旦提升錐被移動至閥門底部時,橡膠密封圈被壓縮密封閥門,而阻絕氣體的流通達到密封之效果。