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pfeiffer分子泵Hipace 10-700L/s 優點:
1.Hipace分子泵堅固耐用的設計,實踐驗證的軸承系統提供了產品的*高可靠性
2.結構緊湊,占用空間小
3.高氣流量,高抽速
4.集成,效率高的冷卻系統
5.可以實現任意位置安裝
6.保護級別 IP 54,非常適合工業領域應用的分子泵類型
7.pfeiffer分子泵可以提供適合腐蝕氣體的分子泵型號
8.半導體 S2- 和 UL-認證
9.完整的配件系列擴展了分子泵安裝的各種可能性
10.我們給您提供更長的分子泵維修間隔
11.我們可以現場更換分子泵軸承
適用領域:
1.半導體生產
2. 真空處理技術
3. 質譜分析
4. 研發及化工行業
產品規格:
型號 | 連接尺寸 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | *高啟動壓強mbar | 冷卻方式 | 啟動時間 | 重量 | |||
進氣口 | 出氣口 | 氮氣N2 | 氦氣He | 氫氣H2 | 氮氣N2 | 氮氣N2 | min | kg | ||
HiPaceTM 10 | 25 | 16 | 10 | 6 | 3.7 | 3.106 | 25 | 風冷 | 0.9 | 1.9 |
HiPaceTM 80 | 63 | 16 | 71 | 66 | 55 | >1011 | 20 | 風冷 | 1.75 | 2.4 |
HiPaceTM 300 | 100 | 16 | 250 | 260 | 220 | >1011 | 15 | 風冷 | 2.5 | 6 |
HiPaceTM 400 | 100 | 25 | 350 | 500 | 460 | >1011 | 20 | 風冷 | 2 | 12.3 |
HiPaceTM 700 | 160 | 25 | 680 | 720 | 580 | >1011 | 20 | 風冷 | 2 | 12.3 |
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