目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>激光光學類>>激光鏡片>> FPSTA-14OAP-HP離軸拋物遠紫外反射鏡,XUV掠入射式反射jing
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 1萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,冶金,電氣 | 組成要素 | 固體激光器產品及設備 |
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離軸拋物遠紫外反射鏡是采用離軸拋物面鏡技術加工的XUV遠紫外反射鏡,屬于反射式和掠入射式反射鏡。
拋物面反射鏡是光學系統中常見的非球面鏡,能夠消除球差,可有效把光束聚焦到一點或聚焦到無限遠。
拋物面反射鏡技術特點
反射式和掠入射式反射鏡
尺寸最高達到1200mm
典型表面精度：λ/15@633nm P-V (λ/70 RMS)
拋物面反射鏡技術參數
母焦距Parent focal length (PFL)是母拋物面焦距,計算公式是Y2=2pX。
傾斜焦距Slant Focal Length (SFL)：又叫反射有效焦距Reflected Effective Focal Length (EFL),是拋物面焦點與拋物鏡機械中心的距離。
緯向半徑Zonal Radius (ZR):母拋物線光軸與光學中心線的距離,用β表示。
離軸距離Off-axis Distance (OAD)：母拋物線光軸與內部邊緣的距離
光學中心線Optical Centerline:平行于目拋物線光軸并穿過機械中心的直線。
離軸拋物遠紫外反射鏡規格
| 參數 | 標準型 | 增強型 |
| 材料 | Zerodur, Astrositall, FS, ULETM , Si, Pyrex, BK7 | |
| 波長范圍 | 9 - 200nm | |
| 尺寸 | up to 500mm | up to 1200mm |
| 通光孔徑 (CA) | <90% | up to 100% |
| 焦距公差 | ±0.5% | ±0.01% |
| 微粗糙度(RMS) | ~2nm | ≤0.4nm |
| 誤差斜率, (RMS) | 1arcsec -縱向, 4arcsec - 橫向 | 0.3arcsec -縱向, 0.8arcsec -橫向 |
| 形狀精度 | ≤λ/30@632.8nm | λ/100@632.8nm |
離軸拋物遠紫外反射鏡是采用離軸拋物面鏡技術加工的XUV遠紫外反射鏡,屬于反射式和掠入射式反射鏡。
拋物面反射鏡是光學系統中常見的非球面鏡,能夠消除球差,可有效把光束聚焦到一點或聚焦到無限遠。
拋物面反射鏡技術特點
反射式和掠入射式反射鏡
尺寸最高達到1200mm
典型表面精度：λ/15@633nm P-V (λ/70 RMS)
拋物面反射鏡技術參數
母焦距Parent focal length (PFL)是母拋物面焦距,計算公式是Y2=2pX。
傾斜焦距Slant Focal Length (SFL)：又叫反射有效焦距Reflected Effective Focal Length (EFL),是拋物面焦點與拋物鏡機械中心的距離。
緯向半徑Zonal Radius (ZR):母拋物線光軸與光學中心線的距離,用β表示。
離軸距離Off-axis Distance (OAD)：母拋物線光軸與內部邊緣的距離
光學中心線Optical Centerline:平行于目拋物線光軸并穿過機械中心的直線。
離軸拋物遠紫外反射鏡規格
| 參數 | 標準型 | 增強型 |
| 材料 | Zerodur, Astrositall, FS, ULETM , Si, Pyrex, BK7 | |
| 波長范圍 | 9 - 200nm | |
| 尺寸 | up to 500mm | up to 1200mm |
| 通光孔徑 (CA) | <90% | up to 100% |
| 焦距公差 | ±0.5% | ±0.01% |
| 微粗糙度(RMS) | ~2nm | ≤0.4nm |
| 誤差斜率, (RMS) | 1arcsec -縱向, 4arcsec - 橫向 | 0.3arcsec -縱向, 0.8arcsec -橫向 |
| 形狀精度 | ≤λ/30@632.8nm | λ/100@632.8nm |
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