壓電式壓力傳感器利用的是壓電材料的壓電效應,就是壓電材料收到壓力時會產生電位差,通過電位差來測量壓力。目前,用于測量壓電式壓力傳感器的性能的設備一般是瞬變壓力信號發生器和正弦信號發生器。瞬變壓力信號發生器產生的是非周期性的壓力信號,非常適合用來測量高頻響應的壓力傳感器。
正弦壓力信號發生器產生的是正弦壓力信號,測量方法有以下幾種:1.諧振空腔測量:采用活塞或汽笛等激發密閉空腔的空氣振動,產生周期性的壓力變化;2.非諧振空腔測量法:調制通過容器內的氣流而產生周期變化的壓力;3.喇叭式壓力發生器:動圈式喇叭通電后產生振動,使空氣耦合腔內的氣壓做正弦變化。
在上面提到的這些方法中,用的比較廣發的是順便壓力信號發生器,主要用于高頻、大量程的壓力傳感器的測定。諧振和非諧振式的有一個共同的缺點:在高頻高壓下,波形會嚴重畸變,所以一般只用于小壓力或低頻范圍的測量。而喇叭式壓力發生器雖然可以產生波形良好的高頻壓力,但由于空氣中的聲壓較小,測量的誤差比較大。
因此,在進行壓電式壓力傳感器的靈敏度或其他性能檢測時,要根據實際的情況,選擇合適的檢測方法。
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