軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)

軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了*的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的*能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

0.3eV(費米邊處Al-L基準)的*能量分辨率 開發設計的分光系統，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態分析分佈圖 察。
	SXES具有很高的能量分辨率 各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖，即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。
鋰離子二次電池（LIB）分析實例 能觀察到LIB的充電量
	充滿電后Li-K樣品的譜圖 說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
輕元素的測試實例 SXES測試碳素化合物的實例 可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。
	各種氮素化合物的測試實例 氮素也可以根據波形分析化學結合狀態。 硝酸鹽和氮化物的波形*不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的*波形。

軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer) 產品規格

能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區50-170eV
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區70-210eV
分光譜儀艙安裝位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側）
FE-SEM的WDS接口（正面左后側）
分光譜儀尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量　25kg

適用機型

EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F