應用廣泛
海德漢公司的長度計適用于多種應用。自動檢測設備、手動測量站或定位設備-無論是長度、間距、厚度、高度或直線位移都可以用海德漢公司的長度計快速、可靠和的測量。
測量原理
測量基準
海德漢公司的長度計具有量程大、精度高、精度穩定的特點。其技術基礎是光電
掃描。海德漢公司的直線光柵尺采用實物測量基準,即玻璃或玻璃陶瓷基體的式或增量式光柵尺。這些測量基準支持大測量范圍,對振動和沖擊不敏感,并具有確定的溫度特性。測量基準的精度不受大氣壓力和相對濕度變化的影響-這是海德漢公司的長度計能夠長期穩定的先決條件。
海德漢公司用特別開發的光刻工藝制造精密光柵。? AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,典型柵距40 μm? METALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,典型柵距20 μm
? DIADUR:玻璃基體的超硬鉻線(典型柵
距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵(典型柵距8 μm)
? SUPRADUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,*抗污能力,典型柵距不超過8 μm
? OPTODUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,超高反光性能,典型柵距不超過2 μm
這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法,這些邊緣清晰的刻線是輸出高質量信號的關鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線
機制造。DIADUR相位光柵,刻線高度約0.25 μmDIADUR光柵
測量步驟
增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計算自某點開始的增量數(測量步距數)獲得。由于必須用參考點確定位置值,因此光柵尺上還刻有一個參考點軌。參考點確定的光柵尺位置值可以到一個信號周期。因此,必須通過掃描參考點建立基準點或確定上次選擇的原點。
測量法是指編碼器通電時就可立即得到位置值并隨時供后續信號處理電子電路讀取。無需移動軸執行參考點回零操作。位置信息來自光柵碼盤,它由一系列碼組成。單獨的增量刻軌信號用于細分處理后得到位置值,同時也能生成供選用的增量信號(與接口類型有關)。光電掃描大多數海德漢公司光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。對測量基準的光電掃描為非接觸掃描,因此無磨損。這種光電掃描方法能檢測到非常細的線條,通常不超過幾微米寬,而且能生成信號周期很小的輸出信號。測量基準的柵距越小,光電掃描的衍射現象越嚴重。海德漢公司的直線光柵尺采用
兩種掃描原理:
? 成像掃描原理用于20 μm至大約
40 μm的柵距。
? 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵,
例如8 μm。
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