LS中空軸APM-HB03HBH-CD

功率0.3KW，電壓AC200V,400HZ

韓國邁克彼恩（LS-Mecapion）公司原名是韓國麥特斯（Metronix）株式會社是一家專業從事工業自動

化產品的研發，生產，銷售及售后服務的高新技術企業。公司憑借的勇于探索的創新精神和對技術研究

一絲不茍的嚴謹態度在韓國國內業界被普遍認可。公司編碼器產品現已占韓國國內*的85%以上

，伺服系統更是從無到有現已穩居韓國伺服*國產品牌地位。
福州歐士瑪自動化設備有限公司多年來專注于在食品機械、印刷機械、紡織機械、橡塑膠行業、醫療設

備、醫藥包裝、紙巾設備、數控機械手、CNC激光切割機、CNC數控機床、數控雕刻機、半導體等行業的

技術引進及產品的應用。
韓國LS spinner電機特點：APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY 、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH 、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、、APM-HE1CH、APM-HB03HBH-CD、APM-VS04NL
產品規格：法蘭尺寸：80mm-100mm   轉速5000R-6000R  額定扭矩：0.62Nm-2.5Nm 額定功率：300W-

700W   涂膠&顯影設備 蝕刻 清洗 去膜設備
開發完成半導體設備8"及12"晶圓用 spinner電機適用于涂膠，顯影及清洗工程

實現率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據客戶的要求，定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封，強化耐環境性

表面進行特殊涂布處理，強化耐腐蝕性

應用范圍：

　　1，半導體制造工業

　　2，設備應用

　　A.曝光顯影設備(涂膠，顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層，曝光，顯影。

　　B.清洗、蝕刻設備用于蝕刻，清洗，去膜設備。

　　C.清洗設備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

　　技術含量

　　設備條件

　　高轉速(5000rpm~8000rpm)真空軸

　　加/減速時間冷卻系統(水冷系統)

　　低噪音和振動zui低公差

　　中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

　　采用重疊設計是尺寸zui小化

LS中空軸APM-HB03HBH-CD