臭氧屬于有害氣體，濃度為 6.25×10mol/L（0.3mg/m3） 時，對眼、鼻、喉有刺激的感覺；濃度 （6.25-62.5）×10 -5 mol/L（3 ～ 30mg/m3） 時，出現頭疼及呼吸器官局部麻痹等癥 ; 臭氧濃度為 3.125×10 -4 ～ 1.25×10 -3 mol/L（15 ～ 60mg/m3） 時 ， 則對人體有危害。其毒性還和接觸時間有關，例如長期接觸 1.748×10 -7 mol/L（4ppm） 以下的臭氧會引起*性心臟障礙，但接觸 20ppm 以下的臭氧不超過 2h ，對人體無*性危害。因此，臭氧濃度的允許值定為 4.46×10 -9 mol/L（0.1ppm）8h. 由于臭氧的臭味很濃，濃度為 4.46×10 -9 mol/L（0.1ppm） 時，人們就感覺到，因此，世界上使用臭氧已有一百多年的歷史，至今也沒有發現一例因臭氧中毒而導致死亡的報道。
臭氧具有很強的氧化性，除了金和鉑外，臭氧化空氣幾乎對所有的金屬都有腐蝕作用。鋁、鋅、鉛與臭氧接觸會被強烈氧化，但含鉻鐵合金基本上不受臭氧腐蝕。基于這一點，生產上常使用含 25% Cr的鉻鐵合金（不銹鋼）來制造臭氧發生設備和加注設備中與臭氧直接接觸的部件。
    臭氧對非金屬材料也有了強烈的腐蝕作用，即使在別處使用得相當穩定得聚氯乙烯塑料濾板等，在臭氧加注設備中使用不久便見疏松、開裂和穿孔。在臭氧發生設備和計量設備中，不能用普通橡膠作密封材料，必須采用耐腐蝕能力強的硅橡膠或耐酸橡膠等。

◎臭氧工業衛生標準： 臭氧協會： 0.1 ppm，接觸10小時 美 國： 0.1 ppm，接觸 8小時 德、法、日 本： 0.1 ppm中 國： 0.16mg/m3
◎家用臭氧消毒柜外臭氧泄漏量不得超過0.2mg/m3（指1.5米以外），消毒一個周期后殘留濃度不得大于0.2mg/m?。
◎動物試驗表明，臭氧毒性的起點濃度為0.3ppm，而人對空氣中臭氧可嗅知的濃度為0.02～0.04ppm，根據臭氧對肺功能毒性的試驗結果，提出1.5～2.0ppm為臭氧允許濃度的上限。衛生部規定臭氧高允許濃度為0.2mg/m?。
空氣應用濃度
◎作為空氣除味與殺菌，要求臭氧濃度較低，如0.5ppm（1mg/m?），而物品表面消毒（殺滅微生物和去除化學污染）則要求提高幾十倍的臭氧濃度。
◎空氣應用具氧濃度在1mg/m?～10mg/m?之間。
◎溫度低，濕度大則殺滅效果好，尤其是濕度，相對濕度小于45%，臭氧對空氣中懸浮微生物幾乎沒有殺滅作用。在60%時才逐漸增強，在95%時達到大值。
◎用臭氧消毒食品加工車間，0.5～1.0ppm即可殺滅空氣中的80%的自然菌。
◎冷庫消毒要求臭氧濃度6～10ppm，停機后封庫24小時以上細菌殺滅率90%左右，霉菌殺滅率80%左右。
◎在水果貯藏期間，可用2～3ppm的臭氧可使霉菌的生長受到抑制，貯藏期可延長一倍。
水中應用濃度
◎水應用中臭氧溶解度在0.1mg/L～10mg/L之間。低值作為水消毒凈化要求的低濃度，高值作為“臭氧水消毒劑” 可達到的濃度值。
◎自來水臭氧凈化，常規標準為0.4mg/L的溶解度值，保持4分鐘，即CT值為1.6。
◎水中余臭氧濃度保持在0.1～0.5mg/L作用5～10min可達消毒目的。
◎臭氧水消毒滅菌是急速的，消毒作用在瞬間發生。清水中臭氧濃度一旦達到，在0.5～1分鐘內就殺死細菌，在濃度達4mg/L，在1分鐘內乙肝病毒滅活率為100%。
◎Herbold報道：20℃條件下，水中臭氧濃度達0.43mg/L時，可將大腸桿菌100%殺滅，10℃時僅需0.36mg/L即可全部殺滅。
◎臭氧濃度為0.25～38mg/L時，僅需幾秒或幾分鐘*滅活甲型肝炎病毒（HAV）。
◎礦泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/L時，即可滿足殺菌保質要求。合理的臭氧投放量為1.5～2.0mg/L。
◎瓶裝水處理應達0.3～0.5mg/L的臭氧溶解度值，要求投加臭氧應滿足 1m?水2gO?的發生量。根據實踐經驗，臭氧發生濃度高于8mg/L時容易達到濃度。

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