安徽賽科環(huán)保科技有限公司今天向大家介紹的是一種擴(kuò)散式半導(dǎo)體小型壓力傳感器，這種壓力傳感器的應(yīng)用也有一些的廣泛，但是相關(guān)的知識的介紹和講解是很少的，所以很多的顧客希望我們向大家具體的介紹一下，應(yīng)廣大的消費(fèi)的要求我們今天就像大家介紹一下，希望對大家在選型的時(shí)候有一定的幫助，或者可以打來咨詢，安徽賽科環(huán)保科技有限公司歡迎您的。

    擴(kuò)散式半導(dǎo)體小型壓力傳感器一般說來，如果沒有電子式傳感器來檢測各種信息，支撐現(xiàn)代文明的科學(xué)技術(shù)就不可能發(fā)展。在傳感器的結(jié)構(gòu)中，敏感元件是zui重要的基本構(gòu)件。其中，屬于電阻變化的電阻絲應(yīng)變片這種敏感元件很早就有了，直至目前還在廣泛應(yīng)用。此外，1956年，又出現(xiàn)了一種體效應(yīng)半導(dǎo)體應(yīng)變片。由于這種應(yīng)變片是應(yīng)用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，因而它的靈敏度要比單純靠幾何形狀變化的電阻絲應(yīng)變片高50~100倍，_巨有應(yīng)變系數(shù)可取為或正或負(fù)的優(yōu)點(diǎn)。擴(kuò)散式半導(dǎo)體應(yīng)變片，自60年代開始研究，現(xiàn)已進(jìn)入實(shí)用階段。進(jìn)入70年代后，又進(jìn)一步試制了自帶穩(wěn)壓、放大及調(diào)整等集成化電路的傳感器，其中有的已在市場上銷售。

    一、感壓膜片

    感壓膜片是壓力傳感器的基本元件，具有感壓功能，是在半導(dǎo)體單晶片表面的許多部上形成半導(dǎo)體應(yīng)變片的。半導(dǎo)體單晶片選用硅作材料。硅單晶的一般特性，如彈性常數(shù)、楊氏模量以及斷裂模數(shù)等，與結(jié)構(gòu)鋼大致相同，密度跟鋁一樣，線膨脹系數(shù)小于3.3‘10一“/℃。一旦超過彈性限度，就會驟然地應(yīng)力集中而變脆。上述這些性質(zhì)是設(shè)計(jì)壓力傳感器的感壓膜片時(shí)所必須考慮的重要條件。下面介紹在半導(dǎo)體晶面上形成的擴(kuò)散式半導(dǎo)體應(yīng)變片。這種應(yīng)變片是應(yīng)用半導(dǎo)體平面技術(shù)在上述的晶片表面上形成雜質(zhì)擴(kuò)散層而制成的。為了提高壓電的轉(zhuǎn)換效率，須采取各種有效措施。

    首先，得把感壓膜片設(shè)計(jì)成邊緣固定的平膜片，如果壓力分布均勻，那末在徑向邊緣跟中心約4:6的應(yīng)力分布處，存在著應(yīng)力反向的變極點(diǎn)。因而在同一平面上，從變極點(diǎn)到邊緣和從變極點(diǎn)到中心的兩邊就構(gòu)成應(yīng)變片，而擴(kuò)散晶格則是按照應(yīng)變片構(gòu)成的惠斯登電橋電路的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的。由于半導(dǎo)體單晶的壓阻效應(yīng)表現(xiàn)出明顯的各向異性，因而在考慮應(yīng)變片的形狀、應(yīng)變方向、晶軸、晶面的同時(shí)還得考慮生產(chǎn)率和穩(wěn)定性等。在N型硅片品而的no面，應(yīng)變片變成“S”形。根據(jù)晶格結(jié)構(gòu)選定縱向晶軸為11饑橫向晶軸為100，并把雜質(zhì)硼定量地?cái)U(kuò)散到2件的深度，以形成P十片。硅片表面上的應(yīng)變片部分及其他部分，由于PN邊界的勢壘而形成電絕緣。為了進(jìn)一步提高表面穩(wěn)定性，采用讓硅片的整個(gè)表面都氧化的方法，使之作為二氧化硅保護(hù)膜而分離出來。

    作為外部用引線電極，用光刻法除去四個(gè)拐角處的氧化硅，再進(jìn)行蒸鍍鋁。在感壓膜片內(nèi)直徑3毫米處，根據(jù)壓力傳感器的額定壓力把膜片光刻到20一50協(xié)厚。zui后在一塊硅面上將許多個(gè)同時(shí)處理制作的感壓膜片，分別劃線、切片。

    二、擴(kuò)散式半導(dǎo)體壓力元件

    所謂擴(kuò)散式半導(dǎo)體壓力元件，就是為了易于使用感壓膜片，也是為了壓力傳感器安裝方便，而在晶化玻璃基板上用玻璃連接的元件。為了不讓無用的熱應(yīng)力影響到膜片上，晶化玻璃須選用與硅單晶的線膨脹系數(shù)大致相同的材料。晶化玻璃基板有兩種規(guī)格:一種是*帶小1孔的，另一種是不帶小1孔的。當(dāng)感壓膜片和帶小1孔的玻璃基板組合時(shí)，就構(gòu)成壓力計(jì)或差壓傳感器;而當(dāng)感壓膜片和無孔的玻璃基板組合.

    三、規(guī)格與性能
    玻璐接合面品化玻勸擴(kuò)散式半導(dǎo)體壓力元件的結(jié)構(gòu)附表特性為了構(gòu)成壓力傳感器，擴(kuò)散半導(dǎo)體壓力元件須置于金屬合內(nèi)組裝成一體。

1.壓力測量系統(tǒng)由壓力傳感器及放大器等
部件構(gòu)成，
2.與該公司的老產(chǎn)品體效應(yīng)半導(dǎo)體壓力傳感器相比，精度有了顯著提高:溫度漂移為
1/5，時(shí)效漂移為1/30，靈敏度一溫度特性為1/10，重復(fù)精度及滯后為1/50，線性度為1/5‘受壓部分固有振動頻率（KHZ）（約90）（約15）
3.轉(zhuǎn)接器有多種多樣標(biāo)準(zhǔn)類型，與此相應(yīng)制備有各種標(biāo)準(zhǔn)壓力傳感器，以滿足更多用戶
的需要;
4.外形及結(jié)構(gòu)均適合于大量生產(chǎn);
5.以表壓、差壓和壓三種為標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，且有普通型和高精度型之分

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