隨著半導體器件特征尺寸的不斷縮小，等離子體工藝中的電弧放電問題日益突出。微小的電弧不僅可能損壞設備，還會導致產品缺陷，甚至造成生產中斷。如何實時監測等離子體狀態和晶圓蝕刻程度，快速檢測電弧并優化工藝，成為半導體制造中的一大挑戰。

英福康射頻傳感技術提供了強大的解決方案：Sion™射頻探測器，提供連續反饋，確保精確的端點檢測，避免過度蝕刻和材料浪費；ADC100電弧檢測器，擁有超卓的電弧檢測技

術，在維護生產效率的同時保護設備；協力幫助客戶提升生產效率、減少停機時間，并確保產品質量。

Sion™：等離子體工藝的“實時衛士”

Sion™是一款非侵入式射頻探測器，專為高速電弧檢測和工藝終點控制設計。它適用于多種等離子體輔助工藝，如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 和

蝕刻工藝，能夠實時檢測電弧工藝，確保工藝穩定性和產品良率。

Sion™的核心優勢在于：

實時電弧檢測：以高達250 kHz的數據采集頻率，快速捕捉微電弧事件，防止對靶材、腔室和基材造成損害。

非侵入式安裝：采用卡箍式設計，可輕松集成到現有工具箱中。

智能數據分析：與FabGuard數據管理系統無縫集成，提供全面的數據管理和分析功能，幫助優化工藝參數。

ADC100：直流電弧的“高速捕手”

ADC100同樣是一款非侵入式的高速直流電弧檢測設備，通過連接DC供電系統，可實時監測等離子體中的電弧事件，并在出現問題時迅速中斷晶圓生產過程，防止硬件或產品損壞。

ADC100的亮點功能包括：

高速響應：每個通道的數據采集頻率高達250 kHz，確保對電弧事件的快速檢測和響應；其內配置的預定義分析工具也能確保檢測效率。

終點檢測功能：不僅能夠檢測電弧，還能優化工藝終點控制，減少過度蝕刻和材料浪費。

全球技術支持：英福康提供全球范圍的技術支持，確保ADC100在不同地區的應用中都能發揮最佳性能。

智能數據分析：與FabGuard數據管理系統無縫集成，提供全面的數據管理和分析功能，幫助優化工藝參數。 如果您正在尋找一種能夠提升生產效率、減少停機時間并確保產品質量的半導體等離子體工藝監測解決方案，英福康的射頻傳感技術將是您的理想選擇。