在半導體制造領域,光刻工藝的精度和效率至關重要,而選擇合適的耗材工具則是保證工藝順利進行的基礎。托托科技,作為專業的光刻耗材供應商,致力于為光刻行業提供高品質的耗材工具,包括光刻膠瓶、晶圓盒、鑷子、顯影/腐蝕花籃等,以滿足多種光刻環境的使用需求。
托托科技的25片裝晶圓儲運盒采用PP材質,適用于2~8寸多種材質晶圓的豎立放置,最多可容納25片晶圓。盒內對稱溝槽設計,尺寸標準統一,上蓋彈片能有效避免晶圓轉動,防止晶圓破損,確保晶圓在運輸過程中的安全。
單片晶圓盒則采用PP/PC材質,適用于多種尺寸和材質的晶圓包裝。其設計充分考慮了使用便捷性和晶圓保護,上蓋的增大摩擦力豎紋和下蓋的凹面設計,有效降低了晶圓沾污的可能性,而彈性固定片則確保了晶圓在盒內的穩定性。
光刻膠瓶采用HDPE材料,經過無塵清洗,潔凈度高,適用于分膠工藝,保證了光刻膠的純凈和工藝的穩定性。
托托科技的顯影/腐蝕花籃采用特氟龍材質,具有耐高溫、抗酸堿、抗有機溶劑的特性,適合各類襯底片的清洗、顯影和腐蝕。花籃的設計便于襯底片與試劑充分接觸,同時避免了試劑的污染。
晶圓片專用鑷子則采用防磁不銹鋼材質,尾部激光焊接,堅固耐用。中間的防滑槽設計和前部的倒斜圓邊處理,使得夾取晶片更加穩妥方便,有效避免了人手直接接觸造成的污染。
托托科技的光刻耗材在多種光刻環境使用中經過對比和反復測試,展現出優秀的性能。公司始終堅持高品質、高性能的產品理念,為半導體產業提供可靠的支撐,助力我國半導體產業的高質量發展。
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