鎢燈絲掃描電鏡的總發射電流和光斑大,抗干擾能力和穩定性好。可在低真空下不充電對非導電樣品進行成像,并可用于形貌觀察、微觀結構分析,以及斷囗形貌分析。
優勢:
1、操作簡單:設備結構相對簡單,操作界面友好,易于上手。維護和調試過程也相對簡單,減少了操作人員的培訓成本和時間。
2、適應性強:可以在相對較低的真空度下工作(<10Pa),適用于多種不同類型的樣品。
3、應用廣泛廣,成本較低:鎢燈絲掃描電鏡的整體造價相對較低,適合預算有限的實驗室或研究機構。維護和保養相對簡單且費用較低,降低了長期運營成本。
缺點:
1、分辨率有限:雖然鎢燈絲掃描電鏡的分辨率已經相對較高,但相比于場發射掃描電鏡等設備,其分辨率仍有一定差距。
2、難以滿足對超高分辨圖像的需求,特別是在納米尺度下的精細結構觀察。
3、發射效率低:鎢燈絲的總發射束流雖大,但束流密度小,發射效率低。這可能導致信噪比較差,影響圖像的清晰度和準確性。
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