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手套箱專用離子濺射儀主要有以下用途：
1.材料表面處理
清潔作用：利用高能離子束對材料表面進行轟擊，去除表面的污染物、氧化物、吸附的氣體分子等雜質，使材料表面達到原子級的清潔度，從而改善材料表面的物理和化學性質，為后續的工藝或研究提供良好的基礎。例如在半導體制造中，對硅片表面進行清潔處理，去除表面的氧化層和雜質，以提高芯片的性能和可靠性。
表面活化：通過離子轟擊使材料表面產生缺陷、增加表面粗糙度或改變表面化學成分，從而提高材料表面的活性，增強其與其他物質的粘附力、潤濕性等性能。比如在金屬與陶瓷的連接中，對金屬和陶瓷表面進行離子濺射處理，提高它們的表面活性，有助于實現兩者的可靠連接。
2.薄膜制備
沉積功能薄膜：能夠在材料表面沉積各種功能性薄膜，如導電膜、絕緣膜、光學膜、磁性膜、耐磨膜、耐腐蝕膜等。例如在電子器件中，通過離子濺射技術沉積導電的金屬薄膜（如銅、鋁等）作為電極；在光學領域，沉積增透膜、反射膜等光學薄膜，以提高光學元件的透過率或反射率。
控制薄膜厚度和成分：可以精確控制薄膜的厚度、成分和結構。通過調整離子束的能量、流量、轟擊時間等參數，能夠實現對薄膜生長速率和成分的精準調控，制備出具有特定性能和厚度要求的高質量薄膜。這對于一些對薄膜精度要求高的應用，如半導體芯片制造、高精度光學器件等非常重要。
3.手套箱專用離子濺射儀科學研究工具
表面分析：在材料科學研究中，可用于研究材料的表面結構、化學成分、電子態等。通過分析離子濺射后的材料表面特征，如表面的形貌、粗糙度、元素組成等，深入了解材料的表面物理和化學性質，為材料的設計和性能優化提供依據。例如在新型催化劑的研究中，利用離子濺射儀對催化劑表面進行處理和分析，探究其活性中心的結構和分布與催化性能的關系。
模擬實驗：可以在可控的環境下模擬不同的實驗條件，研究材料在不同環境因素（如氣氛、溫度、壓力等）下的行為和性能變化。例如在航空航天領域，模擬太空中的高真空、高溫、強輻射等極*環境，研究材料在這種環境下的性能演變，為航天器的材料選擇和設計提供參考。
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