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手持XRF光譜分析儀，即手持式X射線熒光光譜儀，是一種基于X射線熒光(XRF)光譜分析技術的光譜分析儀器。
當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子發生碰撞時，會驅逐一個內層電子，從而出現一個空穴，使整個原子體系處于不穩定的狀態。當較外層的電子躍遷到空穴時，會釋放出能量，產生光電子。這些光子可能再次被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，發生俄歇效應。或者，當較外層的電子躍入內層空穴所釋放的能量不被原子內吸收，而是以光子形式放出時，便產生X射線熒光。X射線熒光的能量或波長與元素有一一對應的關系。通過測量這些熒光的波長和強度，可以確定元素的種類和含量。
性能特點：
高效性：手持式XRF光譜分析儀能夠在現場快速進行元素分析，無需將樣品送至實驗室，大大提高了檢測效率。
便攜性：儀器體積小巧，重量輕，易于攜帶至現場進行檢測。
準確性：通過高精度的X射線熒光光譜分析技術，能夠準確測定元素的種類和含量。
無損性：檢測過程中無需破壞樣品，實現了無損檢測。
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