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漏液傳感器的使用

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2024年12月02日 15:10  

液體泄漏傳感器安裝在使用化學溶液和純水等液體的生產設備和機器的管道和管道接頭周圍,液體儲罐和液體泵中發生的冷凝,冷卻管道,通風室等。這樣可以及早發現液體泄漏。


1、半導體制造設備中的凝露、液體泄漏檢測

設備周圍安裝有液體泄漏傳感器,用于檢測清潔設備內部的冷凝以及向周圍區域的液體泄漏。


2、化學品儲罐管接頭泄漏檢測

通過將液體泄漏傳感器纏繞在液體可能泄漏的區域(例如管道接頭)來檢測液體泄漏。


3、CMP設備計量槽液體泄漏檢測

液體泄漏傳感器可檢測液體泄漏到 CMP 設備的排水盤中,從而拋光和平整晶圓表面,防止設備損壞和晶圓清潔失敗。


4、防爆區域漏油檢測

泄漏傳感器檢測生產設備和防爆區域設備使用的液壓缸等液壓驅動設備的漏油情況。


5、大型公寓、辦公樓漏水檢測

利用漏水傳感器可以遠程檢測大型建筑的供水設備、供水管道、廢水管道的漏水情況,并及時采取措施。


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