橢偏儀是一種非常靈敏的光學技術，為薄膜計量提供能力。橢偏儀利用光的相位信息和偏振態，因此可以達到埃級分辨率。橢偏儀的

主要優點是非破壞性、靈敏度高和測量范圍寬。通過這種技術可以精確測量薄膜的厚度和折射率等光學參數。

在型號為 HO-VALE-01 的橢偏儀中，一束圓偏振光入射到測試基底上，然后對線性偏振的反射光進行偏振變化分析。

該儀器由兩個同心旋轉臂組成，圍繞著一個固定在重型底座上的精確刻度圓盤。一個臂上裝有激光源，另一個臂上裝有探測器組件。刻度盤的刻度

為 1°，分辨率為 0.1°。激光源和探測器的電源分開放置。偏振鏡、分析儀和四分之一波板固定在光路中的精密旋轉平臺上，刻度范圍為 0 - 360°

，分辨率為 0.1°。偏振鏡和分析儀均使用格蘭-湯普森棱鏡。

樣品放置在精密測微計驅動的垂直平臺上，高度調節范圍為 10 毫米，分辨率為 0.01 毫米。激光源的入射角可在 30° 和 90° 之間調節。對于空點

法，如果需要，可以用微型屏幕代替探測器，以便目測空點。

如圖所示，隨機偏振激光（532nm）通過偏振器，偏振器將偏振光從隨機偏振變為線性偏振。然后，線性偏振光通過四分之一波板（將快速軸設

置為 45 度），使偏振狀態從線性偏振變為圓形偏振。經過樣品薄膜的反射，圓偏振光變為線性偏振光，分析儀測量偏振程度

測量范圍

測量范圍：1 納米 ~ 300 納米

入射角度：30° ~ 90°，

旋轉范圍

偏振器：0° ~ 360

四分之一波：0° ~ 360

分辨率：0.1 度

激光器：DPSS（532nm，5mW）

激光臂

旋轉范圍：70 度（從水平面開始）

主刻度分度：1 度

分辨率：0.1 度

探測器

類型：硅光電二極管   硅光電二極管

有效面積：5.8 x 5.8 毫米

探測器臂

旋轉范圍：70 度（從水平面算起）

主刻度分度：1 度

分辨率：0.1 度

樣品架

高度調節范圍：10 毫米

驅動分辨率：10 微米

傾斜范圍：+/- 2 度