氮?dú)庠跔t管清洗機(jī)中的排出通常涉及多個(gè)步驟，具體方法取決于清洗工藝和設(shè)備設(shè)計(jì)。以下是幾種常見的氮?dú)馀懦龇绞剑?/p>

自然排出：在某些清洗過程中，氮?dú)饪赡茏鳛楸Ｗo(hù)氣體或吹掃氣體使用。清洗完成后，隨著設(shè)備的冷卻和壓力的降低，氮?dú)鈺?huì)自然從爐管中排出。例如，在LPCVD（低壓化學(xué)氣相沉積）爐管的在線清洗中，清洗完成后待爐管內(nèi)壓力接近大氣壓時(shí)，打開爐門，氮?dú)饧醋匀慌懦觥?/p>

通過尾氣管排出：爐管清洗過程中產(chǎn)生的廢氣，包括氮?dú)猓梢酝ㄟ^尾氣管排出。這種方式確保了廢氣不會(huì)在爐管內(nèi)積聚，同時(shí)避免了對(duì)環(huán)境的污染。

特定步驟中的排出：在一些特定的清洗步驟中，氮?dú)鈺?huì)被用來清掃爐管內(nèi)的殘留物。例如，在氟氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w清潔后，會(huì)通入氮?dú)膺M(jìn)行清掃，以去除未效果反應(yīng)的前驅(qū)體和反應(yīng)生成物。這一步驟中的氮?dú)庾罱K也會(huì)通過尾氣管或其他排氣系統(tǒng)排出。

結(jié)合其他氣體排出：在某些情況下，氮?dú)饪赡芘c其他氣體（如一氧化氮）結(jié)合使用，以更有效地去除爐管內(nèi)的殘留物。這種組合使用后的氣體也會(huì)通過適當(dāng)?shù)呐艢庀到y(tǒng)排出。

需要注意的是，具體的氮?dú)馀懦龇绞綉?yīng)根據(jù)爐管清洗機(jī)的設(shè)計(jì)、清洗工藝以及安全要求來確定。在操作過程中，應(yīng)嚴(yán)格遵守設(shè)備的操作規(guī)程和安全指南，以確保人員安全和設(shè)備正常運(yùn)行。