托托科技 超高精度3D光刻系列
3D 光刻是增材制造的一種,基于光固化的原理,是一種前沿的制造技術,以傳統光刻技術為基石,意在構筑繁雜的、高精度的三維結構器件。該技術借助逐層光固化的工作模式,循序漸進地構建出所需的三維結構。其凸顯出顯著的特性,囊括了高精度以及多層次的結構。3D 光刻的應用范疇寬泛,涵蓋微電子、光學、生物醫學等眾多關鍵領域。
托托科技的 3D 光刻技術源自其 2D 光刻技術,在 2D 光刻領域長期的技術積淀,致使托托科技的 3D 光刻設備具備一出世就站在了一個更高的起點。托托科技3D 光刻技術的持續發展與演進,為相關領域的創新給予了強有力的支撐,促使制造更為復雜和高性能的器件成為可行,也為未來的科技發展開啟了廣闊的前景。
超高光學分辨率1μm、高精度3D接駁、自動化掃描聚焦、適合多種樹脂/陶瓷材料成形。
織雀PL-3D 是托托科技自主研發的桌面式高精密3D光刻設備,光學精度達5μm。在復雜三維微納結構、高深寬比微納結構以及復合材料三維微納結構制造方面具有突出的潛能和優勢,而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需掩膜版或模具直接成型的優點。
織雀PL-3D超高精度3D光刻設備亮點:
光學精度5μm
打印層厚<5μm
最小料池體積15ml
支持陶瓷材料
光學實時監控
織雀PL-3D Premium 是托托科技自主研發的高精密微3D光刻設備, 光學分辨率可達1μm,支持50 mm×50 mm×50 mm的加工尺寸,設備還支持對準套刻功能,可在已有結構表面進行多材料的駁接打印,在復雜三維微納結構、高深寬比微納結構以及復合材料三維微納結構制造方面具有突出的潛能和優勢,而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需模具直接成型的優點。
織雀PL-3D Premium超高精度3D光刻設備亮點:
光學精度1μm
打印層厚<5μm
多精度鏡頭切換
支持陶瓷材料
對準套刻4D光刻
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